| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第10-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-33页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2 微器件装配精确对准技术概述 | 第15-16页 |
| 1.3 国外研究现状与发展趋势 | 第16-28页 |
| 1.3.1 微器件装配显微视觉检测系统技术 | 第16-22页 |
| 1.3.2 激光共聚焦高精度测量技术 | 第22页 |
| 1.3.3 微操作/微控制技术 | 第22-25页 |
| 1.3.4 显微图像边缘提取与识别技术 | 第25-28页 |
| 1.4 国内微器件装配技术发展概况 | 第28-29页 |
| 1.5 本文研究目的及意义 | 第29-31页 |
| 1.5.1 研究目的 | 第29-30页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第30-31页 |
| 1.5.3 项目来源 | 第31页 |
| 1.6 微器件装配系统精确对准存在的难题 | 第31-32页 |
| 1.7 本文内容结构框架 | 第32-33页 |
| 第2章 高精度同轴光学对准检测技术研究 | 第33-51页 |
| 2.1 基于普通显微光学同轴对准子模块设计方案 | 第33-41页 |
| 2.1.1 同轴光学对准检测原理 | 第33-34页 |
| 2.1.2 基于显微视觉同轴光学对准光路设计 | 第34-35页 |
| 2.1.3 显微视觉图像子模块设计 | 第35-41页 |
| 2.2 基于激光共聚焦同轴对准子模块设计方案 | 第41-50页 |
| 2.2.1 激光共聚焦同轴光路设计优化 | 第41-44页 |
| 2.2.2 激光共聚焦同轴对准光路原理 | 第44页 |
| 2.2.3 激光共聚焦同轴对准光路设计 | 第44-48页 |
| 2.2.4 激光共聚焦对准检测子模块设计 | 第48-50页 |
| 2.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 同轴光学对准对检测机构精度影响分析 | 第51-79页 |
| 3.1 普通显微光学同轴棱镜成像误差对对准精度的影响 | 第51-61页 |
| 3.1.1 普通显微光学同轴棱镜成像误差理论分析 | 第51-53页 |
| 3.1.2 同轴对准检测棱镜角度偏差与成像误差的实验验证 | 第53-57页 |
| 3.1.3 验证实验及结果分析 | 第57-61页 |
| 3.2 激光共聚焦同轴棱镜成像误差对对准精度的影响 | 第61-78页 |
| 3.2.1 激光共聚焦同轴棱镜机构成像误差分析 | 第61-63页 |
| 3.2.2 激光共聚焦同轴棱镜误差理论分析 | 第63-71页 |
| 3.2.3 验证实验及结果分析 | 第71-78页 |
| 3.3 本章小结 | 第78-79页 |
| 第4章 微器件高精度自动化装配对准图像关键特征识别技术 | 第79-109页 |
| 4.1 微器件高精度自动化装配流程 | 第79-80页 |
| 4.2 微器件装配对准图像关键特征分析 | 第80-84页 |
| 4.2.1 装配对准关键特征选取与分割 | 第80-82页 |
| 4.2.2 不同角度偏向的边缘点获取 | 第82-84页 |
| 4.3 局部模式匹配对准图像关键特征识别算法 | 第84-89页 |
| 4.3.1 微器件边缘检测问题分析 | 第84-87页 |
| 4.3.2 考虑不确定性局部图像特征匹配 | 第87-89页 |
| 4.4 装配对准图像匹配特征不确定性建模 | 第89-102页 |
| 4.4.1 考虑不确定性特征相似度的求解 | 第91-99页 |
| 4.4.2 考虑特征不确定性特征匹配算法 | 第99-102页 |
| 4.5 微器件高精度装配实验实现及结果分析 | 第102-108页 |
| 4.6 本章小结 | 第108-109页 |
| 第5章 微器件装配光学对准检测与系统标定技术 | 第109-131页 |
| 5.1 运动末端执行机构标定 | 第109-117页 |
| 5.1.1 目标零件夹持搬运机械手末端标定 | 第109-115页 |
| 5.1.2 基体零件六自由度调整平台标定 | 第115-117页 |
| 5.2 普通显微光学同轴对准检测子模块标定 | 第117-124页 |
| 5.2.1 普通显微光学镜头畸变标定 | 第117-120页 |
| 5.2.2 同轴光学对准棱镜机构标定 | 第120-124页 |
| 5.3 激光共聚焦同轴光学对准检测子模块标定 | 第124-130页 |
| 5.3.1 共聚焦同轴光学对准棱镜机构标定 | 第124-127页 |
| 5.3.2 共聚焦同轴对准检测子模块误差标定 | 第127-130页 |
| 5.4 本章小结 | 第130-131页 |
| 第6章 微器件装配同轴对准检测实验研究 | 第131-144页 |
| 6.1 系统平台设计性能指标 | 第131页 |
| 6.2 微器件装配系统实验平台总体设计方案 | 第131-133页 |
| 6.3 微器件装配任务要求 | 第133页 |
| 6.4 微器件高精度装配实验平台设计 | 第133-134页 |
| 6.5 人机协同微器件装配实验 | 第134-143页 |
| 6.5.1 微小结构件装配加工工艺对装配精度的影响分析 | 第134-137页 |
| 6.5.2 微器件装配实验流程设计 | 第137-138页 |
| 6.5.3 普通显微光学同轴对准微器件装配实验 | 第138-140页 |
| 6.5.4 普通显微光学与激光共聚焦对准实验 | 第140-143页 |
| 6.6 本章小结 | 第143-144页 |
| 第7章 总结与展望 | 第144-147页 |
| 7.1 本文研究工作总结 | 第144-145页 |
| 7.2 本文主要创新性贡献 | 第145-146页 |
| 7.3 下一步研究展望 | 第146-147页 |
| 参考文献 | 第147-158页 |
| 附录 | 第158-165页 |
| 攻读博士学位期间学术成果清单 | 第165-166页 |
| 致谢 | 第166页 |
