| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-32页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第14-15页 |
| 1.2 扫描光刻系统与迭代学习控制研究现状 | 第15-30页 |
| 1.2.1 扫描光刻系统 | 第15-18页 |
| 1.2.2 扫描光刻系统的控制问题 | 第18-21页 |
| 1.2.3 扫描光刻系统的控制方法 | 第21-23页 |
| 1.2.4 迭代学习控制理论和应用 | 第23-30页 |
| 1.3 论文的主要研究内容和章节安排 | 第30-32页 |
| 第2章 基于分析的鲁棒迭代学习控制策略 | 第32-60页 |
| 2.1 引言 | 第32-33页 |
| 2.2 H 设计基础 | 第33-35页 |
| 2.2.1 H 设计 | 第33页 |
| 2.2.2 分析与结构奇异值 | 第33-35页 |
| 2.3 鲁棒迭代学习控制 | 第35-47页 |
| 2.3.1 一般描述 | 第35-36页 |
| 2.3.2 基于对象逆的鲁棒迭代学习控制 | 第36-37页 |
| 2.3.3 基于综合法的鲁棒迭代学习控制 | 第37-39页 |
| 2.3.4 基于分析法的鲁棒迭代学习控制 | 第39-47页 |
| 2.4 仿真研究 | 第47-59页 |
| 2.4.1 基于对象逆的鲁棒迭代学习控制 | 第47-52页 |
| 2.4.2 基于综合法的鲁棒迭代学习控制 | 第52-54页 |
| 2.4.3 基于分析法的鲁棒迭代学习控制 | 第54-59页 |
| 2.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第3章 基于有限脉冲响应的分段迭代学习控制 | 第60-84页 |
| 3.1 引言 | 第60-61页 |
| 3.2 扫描光刻系统 | 第61-65页 |
| 3.2.1 硅片台系统 | 第61-63页 |
| 3.2.2 扫描轨迹和控制指标 | 第63-65页 |
| 3.3 分段迭代学习控制 | 第65-74页 |
| 3.3.1 非因果迭代学习控制 | 第65-67页 |
| 3.3.2 分段迭代学习控制 | 第67-70页 |
| 3.3.3 仿真研究 | 第70-74页 |
| 3.4 基于有限脉冲响应的分段迭代学习控制 | 第74-83页 |
| 3.4.1 具体实现方法 | 第74-77页 |
| 3.4.2 鲁棒性分析 | 第77-78页 |
| 3.4.3 实验研究 | 第78-83页 |
| 3.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 第4章 不确定性系统的非因果鲁棒迭代学习控制 | 第84-102页 |
| 4.1 引言 | 第84-85页 |
| 4.2 问题描述 | 第85-87页 |
| 4.3 非因果鲁棒迭代学习控制 | 第87-93页 |
| 4.3.1 乘性不确定性情况 | 第87-90页 |
| 4.3.2 加性不确定性情况 | 第90-93页 |
| 4.4 仿真研究 | 第93-101页 |
| 4.4.1 乘性不确定性系统 | 第93-96页 |
| 4.4.2 加性不确定性系统 | 第96-101页 |
| 4.5 本章小结 | 第101-102页 |
| 第5章 有效非因果迭代学习控制及在扫描光刻中的应用 | 第102-121页 |
| 5.1 引言 | 第102-103页 |
| 5.2 问题描述 | 第103-106页 |
| 5.2.1 可变扫描轨迹 | 第103-104页 |
| 5.2.2 有效学习控制框架 | 第104-106页 |
| 5.3 有效非因果迭代学习控制律设计 | 第106-112页 |
| 5.3.1 时间移位因子 | 第106-110页 |
| 5.3.2 有效学习函数 | 第110-112页 |
| 5.4 仿真和实验 | 第112-120页 |
| 5.4.1 仿真研究 | 第112-116页 |
| 5.4.2 实验研究 | 第116-120页 |
| 5.5 本章小结 | 第120-121页 |
| 第6章 双回路迭代学习控制及在扫描光刻中的应用 | 第121-144页 |
| 6.1 引言 | 第121-122页 |
| 6.2 宏微控制系统 | 第122-125页 |
| 6.3 宏微控制结构 | 第125-129页 |
| 6.3.1 主从式宏微控制 | 第125-127页 |
| 6.3.2 双回路解耦控制 | 第127-129页 |
| 6.4 双回路迭代学习控制 | 第129-132页 |
| 6.4.1 微动部分迭代学习控制 | 第129-131页 |
| 6.4.2 宏微解耦学习控制 | 第131-132页 |
| 6.4.3 迭代学习控制律的设计 | 第132页 |
| 6.5 实验研究 | 第132-143页 |
| 6.5.1 主从式宏微控制实验 | 第132-136页 |
| 6.5.2 双回路宏微控制实验 | 第136-138页 |
| 6.5.3 双回路迭代学习控制实验 | 第138-143页 |
| 6.6 本章小结 | 第143-144页 |
| 结论 | 第144-146页 |
| 参考文献 | 第146-157页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第157-160页 |
| 致谢 | 第160-161页 |
| 个人简历 | 第161页 |