离子注入辅助超精密加工机理研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 超精密加工技术 | 第7-8页 |
| 1.2 硬脆性材料超精密加工 | 第8-13页 |
| 1.3 离子注入表面改性方法 | 第13-15页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第15-17页 |
| 第二章 硬脆晶体纳米切削机理分子动力学研究 | 第17-42页 |
| 2.1 势函数简介 | 第17-18页 |
| 2.2 纳米切削仿真 | 第18-23页 |
| 2.2.1 模型建立 | 第19-21页 |
| 2.2.2 切削参数设定 | 第21-23页 |
| 2.2.3 仿真参数设置 | 第23页 |
| 2.3 结果分析 | 第23-41页 |
| 2.3.1 常用分析指标 | 第23-29页 |
| 2.3.2 纳米切削分析 | 第29-41页 |
| 2.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 第三章 离子注入辅助纳米切削 | 第42-57页 |
| 3.1 NiIM机理 | 第42-53页 |
| 3.1.1 离子注入仿真 | 第43-46页 |
| 3.1.2 切削参数与结果分析 | 第46-53页 |
| 3.2 工艺参数制定 | 第53-55页 |
| 3.3 NiIM优化 | 第55-56页 |
| 3.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第四章 离子注入辅助纳米切削实验 | 第57-64页 |
| 4.1 注入参数制定 | 第57-58页 |
| 4.2 离子注入与改性层测试 | 第58-60页 |
| 4.3 切削性能测试 | 第60-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
