| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 压电效应 | 第10-12页 |
| 1.2 体声波谐振器简介 | 第12-14页 |
| 1.3 FBAR应用的国内外发展现状 | 第14-16页 |
| 1.4 电极对FBAR传感器性能的影响 | 第16-17页 |
| 1.5 问题提出及主要研究工作 | 第17-20页 |
| 第二章 单面电极对FBAR质量传感器性能的影响 | 第20-36页 |
| 2.1 引言 | 第20-21页 |
| 2.2 单面多层电极FBAR质量传感器结构 | 第21-22页 |
| 2.3 单面电极FBAR质量传感器灵敏度的计算方法 | 第22-25页 |
| 2.3.1 电抗法计算灵敏度 | 第22-23页 |
| 2.3.2 位移法计算灵敏度 | 第23-25页 |
| 2.4 结果讨论和总结 | 第25-34页 |
| 2.4.1 单面单层电极对FBAR质量传感器灵敏度的影响 | 第26-28页 |
| 2.4.2 单面多层电极对FBAR质量传感器灵敏度的影响 | 第28-31页 |
| 2.4.3 单面电极对FBAR质量传感器机械品质因数的影响 | 第31-34页 |
| 2.5 总结 | 第34-36页 |
| 第三章 单面电极对FBAR粘度传感器性能的影响 | 第36-46页 |
| 3.1.引言 | 第36-37页 |
| 3.2.单面电极FBAR粘度传感器建模 | 第37-39页 |
| 3.3.结果与讨论 | 第39-43页 |
| 3.4 总结 | 第43-46页 |
| 第四章 双面电极对FBAR质量传感器和粘度传感器性能的影响 | 第46-56页 |
| 4.1 双面电极FBAR质量传感器和FBAR粘度传感器建模 | 第46-49页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第49-55页 |
| 4.2.1 双面电极对FBAR质量传感器性能的影响 | 第49-52页 |
| 4.2.2 双面电极对FBAR粘度传感器性能的影响 | 第52-55页 |
| 4.3 总结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-60页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第56-58页 |
| 5.2 研究工作展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
