多晶硅铸锭炉控制系统的研究和设计
| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 选题背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.1.1 光伏发电的发展状况 | 第7页 |
| 1.1.2 多晶硅铸锭的发展状况 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-9页 |
| 1.2.1 国外多晶硅铸锭炉生产厂家简况 | 第8-9页 |
| 1.2.2 国内多晶硅铸锭炉厂家简介 | 第9页 |
| 1.3 定向凝固晶体生长的主要方法及工艺过程 | 第9-13页 |
| 1.3.1 晶体生长的主要方法 | 第9-11页 |
| 1.3.2 热交换法定向凝固的工艺过程 | 第11-13页 |
| 1.4 定向凝固法生长中存在的主要杂质和缺陷 | 第13-14页 |
| 1.4.1 定向凝固中存在的主要杂质 | 第13-14页 |
| 1.4.2 多晶硅的主要缺陷 | 第14页 |
| 1.5 课题研究的主要内容 | 第14-17页 |
| 第二章 多晶硅铸锭炉结构概述 | 第17-27页 |
| 2.1 主要技术指标 | 第17-18页 |
| 2.2 结构特征 | 第18-27页 |
| 2.2.1 真空炉体 | 第18-21页 |
| 2.2.2 加热及保温系统 | 第21-22页 |
| 2.2.3 隔热系统 | 第22-23页 |
| 2.2.4 隔热框升降系统 | 第23页 |
| 2.2.5 真空系统 | 第23-24页 |
| 2.2.6 水冷系统 | 第24-25页 |
| 2.2.7 氩气系统及要求 | 第25-27页 |
| 第三章 控制系统硬件设计 | 第27-39页 |
| 3.1 系统整体结构 | 第27-28页 |
| 3.2 控制系统硬件配置 | 第28-33页 |
| 3.2.1 PS-3711A工控机 | 第28页 |
| 3.2.2 Opto工业控制器LCM4 | 第28-33页 |
| 3.3 伺服控制系统 | 第33-39页 |
| 3.3.1 伺服系统原理 | 第33页 |
| 3.3.2 伺服系统选型 | 第33-36页 |
| 3.3.3 伺服驱动控制参数 | 第36-39页 |
| 第四章 控制系统软件设计 | 第39-47页 |
| 4.1 上位机软件设计 | 第39-43页 |
| 4.2 控制器软件编程 | 第43-47页 |
| 4.2.1 OptoControl组态 | 第43-44页 |
| 4.2.2 程序工艺流程 | 第44-46页 |
| 4.2.3 联锁与协调控制 | 第46-47页 |
| 第五章 设备加热系统的研究 | 第47-55页 |
| 5.1 加热带的设计 | 第47-49页 |
| 5.1.1 加热元件的选型 | 第47-48页 |
| 5.1.2 加热方式选择 | 第48-49页 |
| 5.2 加热带布置及功率计算 | 第49-53页 |
| 5.3 加热电源的确定 | 第53-55页 |
| 第六章 温度控制系统的设计 | 第55-63页 |
| 6.1 模糊控制原理 | 第55页 |
| 6.2 模糊控制器的设计 | 第55-57页 |
| 6.3 模糊PID控制算法的具体实现 | 第57-61页 |
| 6.4 控制效果 | 第61-63页 |
| 6.4.1 控制温度效果分析 | 第61页 |
| 6.4.2 产品质量分析 | 第61-63页 |
| 第七章 结论 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 在读期间的研究成果 | 第71页 |
