一体轻小型振动传感器研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5-6页
第1章 绪论	第9-18页
1.1 课题研究的目的和意义	第9-10页
1.2 国内外研究现状	第10-16页
1.3 论文研究内容	第16-18页
第2章 传感器总体方案设计	第18-26页
2.1 传感器总体设计分析	第18-19页
2.2 传感器调理电路设计	第19-23页
2.3 传感器结构设计	第23-25页
2.4 本章小结	第25-26页
第3章 梳齿式电容敏感元件设计	第26-46页
3.1 敏感元件设计原理	第26-28页
3.2 敏感元件性能指标设计	第28-39页
3.3 敏感元件内部电路设计	第39-40页
3.4 敏感元件制作过程	第40-44页
3.5 敏感元件封装设计	第44-45页
3.6 本章小结	第45-46页
第4章 传感器性能仿真及测试实验	第46-55页
4.1 梳齿式敏感结构温度场分析	第46-48页
4.2 测试系统的组成及工作过程	第48-49页
4.3 传感器性能测试与分析	第49-53页
4.4 传感器轻小一体化分析	第53-54页
4.5 本章小结	第54-55页
结论	第55-56页
参考文献	第56-60页
攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果	第60-62页
致谢	第62-63页
个人简历	第63页