| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外波前检测研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 夏克-哈特曼波前传感器法 | 第13-14页 |
| 1.2.2 剪切干涉法 | 第14-15页 |
| 1.2.3 点衍射干涉法 | 第15-18页 |
| 1.2.4 波前检测研究现状小结 | 第18页 |
| 1.3 课题来源和研究内容 | 第18-20页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第18页 |
| 1.3.2 本文主要内容 | 第18-20页 |
| 2 近红外反射式错位点衍射干涉原理 | 第20-31页 |
| 2.1 点衍射干涉基本原理 | 第20-22页 |
| 2.2 近红外反射式错位点衍射干涉仪 | 第22-25页 |
| 2.3 线性载频干涉图波前恢复算法 | 第25-27页 |
| 2.4 轴向离焦式点衍射干涉仪 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小节 | 第29-31页 |
| 3 近红外反射式错位点衍射干涉仪的关键技术研究 | 第31-39页 |
| 3.1 反射式错位点衍射板结构设计 | 第31-34页 |
| 3.1.1 针孔参数设计 | 第31-32页 |
| 3.1.2 点衍射板表面镀膜设计 | 第32-33页 |
| 3.1.3 载频数的设计 | 第33-34页 |
| 3.2 近红外点衍射板针孔快速对准技术 | 第34-36页 |
| 3.3 线性载频干涉图处理仿真分析 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 4 近红外反射式错位点衍射干涉实验研究 | 第39-60页 |
| 4.1 近红外反射式错位点衍射干涉实验 | 第39-43页 |
| 4.1.1 实验器件的选择 | 第39-41页 |
| 4.1.2 实验光路调整 | 第41-42页 |
| 4.1.3 干涉图处理 | 第42-43页 |
| 4.2 波前检测对比实验 | 第43-46页 |
| 4.3 轴向离焦式近红外点衍射干涉实验研究 | 第46-51页 |
| 4.3.1 轴向离焦式近红外点衍射干涉实验 | 第46-47页 |
| 4.3.2 与近红外反射式错位点衍射干涉仪的对比 | 第47-49页 |
| 4.3.3 轴向离焦式近红外点衍射干涉的讨论与分析 | 第49-51页 |
| 4.4 近红外反射式错位点衍射干涉仪精度考核实验 | 第51-54页 |
| 4.5 近红外反射式错位点衍射干涉实验相关讨论 | 第54-59页 |
| 4.5.1 干涉条纹对比度的分析 | 第54-56页 |
| 4.5.2 光源单色性分析 | 第56-57页 |
| 4.5.3 系统误差分析 | 第57-59页 |
| 4.6 本章小结 | 第59-60页 |
| 5 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 总结 | 第60页 |
| 5.2 展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 附录 | 第67页 |