微纳米级组合式非接触测量技术的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·背景及意义 | 第9-10页 |
| ·光纤传感器的概述 | 第10-12页 |
| ·光纤传感器的国内外发展现状 | 第10-12页 |
| ·相关技术发展趋势 | 第12页 |
| ·平面度测量方法简介 | 第12-15页 |
| ·指示器法 | 第12-13页 |
| ·光轴法 | 第13页 |
| ·水平仪法 | 第13-14页 |
| ·自准仪法 | 第14页 |
| ·光波干涉法 | 第14-15页 |
| ·CMM三坐标测量机法 | 第15页 |
| ·主要内容及工作 | 第15-17页 |
| 第二章 光纤传感器的基本原理及结构设计 | 第17-25页 |
| ·RIM-FODS的基本工作原理及结构分析 | 第17-20页 |
| ·RIM-FODS的基本工作原理 | 第17-19页 |
| ·探头结构设计 | 第19-20页 |
| ·双圆型探头的输出特性的数学分析 | 第20-25页 |
| 第三章 系统总体设计 | 第25-28页 |
| ·总体设计方案 | 第25-26页 |
| ·光纤阵列结构设计 | 第26页 |
| ·信号测量及采集电路总体设计 | 第26-27页 |
| ·系统软件功能及结构总体设计 | 第27-28页 |
| 第四章 电路设计 | 第28-45页 |
| ·光源调制电路 | 第28-32页 |
| ·微弱光信号检测电路 | 第32-35页 |
| ·前置放大电路 | 第33-35页 |
| ·次级放大电路 | 第35页 |
| ·滤波电路 | 第35-38页 |
| ·双T滤波 | 第35-36页 |
| ·带通滤波 | 第36-38页 |
| ·信号处理电路 | 第38-41页 |
| ·有效值电路 | 第38-39页 |
| ·采样保持电路 | 第39页 |
| ·AD转换电路 | 第39-41页 |
| ·主控电路 | 第41-42页 |
| ·显示终端 | 第42页 |
| ·电源设计 | 第42-43页 |
| ·硬件抗干扰设计 | 第43-45页 |
| 第五章 系统软件设计 | 第45-51页 |
| ·平面度评定方法 | 第45-46页 |
| ·DDS配置程序及AD转换程序 | 第46-47页 |
| ·串口通信 | 第47-48页 |
| ·终端显示及键盘控制程序 | 第48-49页 |
| ·主程序 | 第49-51页 |
| 第六章 实验结果及分析 | 第51-64页 |
| ·位移实验结果及曲线标定 | 第51-56页 |
| ·传感器性能试验 | 第56-59页 |
| ·传感器分辨率试验 | 第56-57页 |
| ·传感器重复性试验 | 第57-58页 |
| ·传感器稳定性试验 | 第58-59页 |
| ·平面度测量实验 | 第59-64页 |
| 第七章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的学术论文 | 第70页 |
