| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题背景及研究目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 薄膜厚度测量技术 | 第9-14页 |
| 1.2.1 非在线薄膜厚度测量技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 在线薄膜厚度测量技术 | 第11-14页 |
| 1.3 国内外的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第14页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 薄膜厚度在线测量系统分析及硬件设计 | 第16-33页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 薄膜在线测厚原理 | 第16-17页 |
| 2.3 薄膜在线测厚系统方案设计 | 第17-19页 |
| 2.3.1 需求及可行性分析 | 第17-18页 |
| 2.3.2 系统方案选择 | 第18页 |
| 2.3.3 系统功能分析 | 第18-19页 |
| 2.3.4 系统整体结构设计 | 第19页 |
| 2.4 扫描架设计 | 第19-22页 |
| 2.4.1 扫描架机械系统技术要求 | 第20页 |
| 2.4.2 扫描架结构与组成 | 第20-22页 |
| 2.5 光源及功率计原理与选型 | 第22-27页 |
| 2.5.1 光源的设计 | 第22-23页 |
| 2.5.2 功率计原理与选型 | 第23-27页 |
| 2.6 PLC 控制系统方案 | 第27-32页 |
| 2.6.1 主要部件选型 | 第28-30页 |
| 2.6.2 PLC 控制系统设计 | 第30-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 薄膜厚度在线测量系统软件实现 | 第33-60页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 下位机 PLC 程序设计 | 第33-40页 |
| 3.2.1 下位机 PLC 工作原理及流程图 | 第33-35页 |
| 3.2.2 PLC 初始化程序设计 | 第35-36页 |
| 3.2.3 人工控制程序设计 | 第36-37页 |
| 3.2.4 智能控制程序设计 | 第37-38页 |
| 3.2.5 三菱 FX1N-40MT-001 PLC 通信协议 | 第38-40页 |
| 3.3 上位机软件系统设计 | 第40-57页 |
| 3.3.1 软件系统设计原则及目标 | 第41-43页 |
| 3.3.2 软件功能执行流程 | 第43-44页 |
| 3.3.3 登录模块设计 | 第44-46页 |
| 3.3.4 实时测量模块设计 | 第46-48页 |
| 3.3.5 参数设置模块设计 | 第48-52页 |
| 3.3.6 历史数据回放模块设计 | 第52-54页 |
| 3.3.7 系统维护与管理模块设计 | 第54-57页 |
| 3.4 系统串口通信功能的实现 | 第57-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 现场实验与不确定度分析 | 第60-65页 |
| 4.1 引言 | 第60页 |
| 4.2 现场实验 | 第60-63页 |
| 4.2.1 系统现场安装及调试 | 第60-61页 |
| 4.2.2 可能出现的问题及分析 | 第61-62页 |
| 4.2.3 实验结果 | 第62-63页 |
| 4.3 测量不确定度分析 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70页 |