| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 SnO_2透明导电薄膜材料 | 第11-15页 |
| 1.2.1 SnO_2的基本情况 | 第12-13页 |
| 1.2.2 SnO_2薄膜的特性 | 第13-15页 |
| 1.3 SnO_2透明导电薄膜材料制备方法 | 第15-18页 |
| 1.3.1 磁控溅射法制备SnO_2薄膜 | 第16页 |
| 1.3.2 喷涂热解法制备SnO_2薄膜 | 第16-17页 |
| 1.3.3 化学气相沉积法制备SnO_2薄膜 | 第17页 |
| 1.3.4 溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜 | 第17页 |
| 1.3.5 其他制备方法 | 第17-18页 |
| 1.4 SnO_2透明导电薄膜的种类 | 第18-21页 |
| 1.4.1 n型SnO_2透明导电薄膜 | 第18-20页 |
| 1.4.2 p型SnO_2透明导电薄膜 | 第20-21页 |
| 1.4.3 SnO_2复合透明导电薄膜材料 | 第21页 |
| 1.5 溶胶-凝胶法制备SnO_2透明导电薄膜 | 第21-24页 |
| 1.5.1 溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜基本过程 | 第22-23页 |
| 1.5.2 溶胶-凝胶法原理 | 第23-24页 |
| 1.5.3 溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜的优缺点 | 第24页 |
| 1.6 本课题研究的提出 | 第24-26页 |
| 1.6.1 本课题研究的目的和意义 | 第24-25页 |
| 1.6.2 本课题的主要内容 | 第25-26页 |
| 第二章 实验部分 | 第26-31页 |
| 2.1 实验原料及仪器设备 | 第26-27页 |
| 2.2 SnO_2透明导电薄膜制备工艺 | 第27-28页 |
| 2.2.1 基体预处理 | 第27页 |
| 2.2.2 溶胶的制备 | 第27-28页 |
| 2.2.3 镀膜 | 第28页 |
| 2.2.4 退火处理 | 第28页 |
| 2.3 SnO_2透明导电薄膜样品性能的表征 | 第28-31页 |
| 2.3.1 差热-失重分析 | 第28页 |
| 2.3.2 样品的物相组成分析 | 第28-29页 |
| 2.3.3 样品的表面形貌分析 | 第29页 |
| 2.3.4 样品的电学性能测试 | 第29页 |
| 2.3.5 样品的光学性能测试 | 第29-31页 |
| 第三章 溶胶-凝胶法制备SnO_2薄膜实验条件的确定 | 第31-36页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 溶剂的选择 | 第31-32页 |
| 3.3 制备溶胶温度的确定 | 第32页 |
| 3.4 去离子水量的确定 | 第32-33页 |
| 3.5 溶胶浓度的确定 | 第33-34页 |
| 3.6 热处理温度的确定 | 第34-36页 |
| 第四章 Sn O2:Sb透明导电薄膜的制备及光电性能研究 | 第36-49页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 实验过程 | 第36页 |
| 4.2.1 溶胶的制备 | 第36页 |
| 4.2.2 样品表征 | 第36页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第36-47页 |
| 4.3.1 ATO透明导电薄膜物相组成分析 | 第36-38页 |
| 4.3.2 ATO透明导电薄膜SEM分析 | 第38-40页 |
| 4.3.3 ATO透明导电薄膜AFM分析 | 第40-43页 |
| 4.3.4 ATO透明导电薄膜电学性能分析 | 第43-46页 |
| 4.3.5 ATO透明导电薄膜光学性能分析 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 P掺杂和Sb-P共掺杂SnO_2薄膜的制备及研究 | 第49-65页 |
| 5.1 引言 | 第49页 |
| 5.2 实验过程 | 第49页 |
| 5.2.1 SnO_2:P透明导电薄膜的制备 | 第49页 |
| 5.2.2 SnO_2:(Sb+P)透明导电薄膜的制备 | 第49页 |
| 5.3 SnO_2:P透明导电薄膜结果与讨论 | 第49-59页 |
| 5.3.1 SnO_2:P透明导电薄膜物相组成分析 | 第49-51页 |
| 5.3.2 SnO_2:P透明导电薄膜SEM分析 | 第51-53页 |
| 5.3.3 SnO_2:P透明导电薄膜AFM分析 | 第53-54页 |
| 5.3.4 SnO_2:P透明导电薄膜电学性能分析 | 第54-57页 |
| 5.3.5 SnO_2:P透明导电薄膜光学性能分析 | 第57-59页 |
| 5.4 SnO_2:(Sb+P)透明导电薄膜的结果与讨论 | 第59-63页 |
| 5.4.1 SnO_2:(Sb+P)透明导电薄膜物相组成分析 | 第59-60页 |
| 5.4.2 SnO_2:(Sb+P)透明导电薄膜显微结构分析 | 第60-61页 |
| 5.4.3 SnO_2:(Sb+P)透明导电薄膜电学性能分析 | 第61-62页 |
| 5.4.4 SnO_2:(Sb+P)透明导电薄膜光学性能分析 | 第62-63页 |
| 5.5 本章小结 | 第63-65页 |
| 第六章 Al掺杂SnO_2透明导电薄膜的制备及性能研究 | 第65-76页 |
| 6.1 引言 | 第65页 |
| 6.2 实验过程 | 第65-66页 |
| 6.3 结果与讨论 | 第66-75页 |
| 6.3.1 SnO_2:Al透明导电薄膜物相组成分析 | 第66-67页 |
| 6.3.2 SnO_2:Al透明导电薄膜SEM分析 | 第67-70页 |
| 6.3.3 SnO_2:Al透明导电薄膜AFM分析 | 第70-71页 |
| 6.3.4 SnO_2:Al透明导电薄膜电学性能分析 | 第71-73页 |
| 6.3.5 SnO_2:Al透明导电薄膜的光学性能分析 | 第73-75页 |
| 6.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 第七章 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 攻读硕士期间发表的主要论文 | 第86页 |
