ZnO/NiO异质结构薄膜乙醇传感器设计与性能研究
| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 课题研究的背景及意义 | 第9页 |
| 1.2 气敏传感器 | 第9-11页 |
| 1.2.1 气敏传感器概述 | 第9-10页 |
| 1.2.2 金属半导体氧化物气敏传感器概述 | 第10-11页 |
| 1.3 乙醇气敏传感器国内外研究进展 | 第11-15页 |
| 1.3.1 乙醇传感器的国外研究进展 | 第11-13页 |
| 1.3.2 乙醇传感器的国内研究进展 | 第13-15页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第15页 |
| 1.5 本章小结 | 第15-16页 |
| 第2章 结构的制备及表征 | 第16-32页 |
| 2.1 溶胶凝胶法 | 第16页 |
| 2.2 实验药品及实验仪器 | 第16-18页 |
| 2.2.1 实验药品 | 第16-17页 |
| 2.2.2 实验仪器 | 第17-18页 |
| 2.3 异质结构的制备 | 第18-24页 |
| 2.3.1 ZnO的制备 | 第18-20页 |
| 2.3.2 ZnO的XRD表征 | 第20-21页 |
| 2.3.3 NiO的制备 | 第21-23页 |
| 2.3.4 NiO的XRD表征 | 第23-24页 |
| 2.3.5 ZnO/NiO异质结构的制备 | 第24页 |
| 2.4 ZnO/NiO异质结构的表征 | 第24-27页 |
| 2.4.1 X射线衍射分析（XRD） | 第24-25页 |
| 2.4.2 扫描电子显微镜分析（SEM） | 第25-27页 |
| 2.5 ZnO-NiO复合结构的制备及表征 | 第27-31页 |
| 2.5.1 ZnO-NiO复合结构的制备 | 第27-29页 |
| 2.5.2 复合结构的表征 | 第29-31页 |
| 2.6 本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 异质结气敏机理分析与气敏元件制作 | 第32-38页 |
| 3.1 异质结气敏机理 | 第32-34页 |
| 3.1.1 异质结 | 第32页 |
| 3.1.2 ZnO/NiO异质结气敏机理 | 第32-34页 |
| 3.2 气敏元件设计与制作 | 第34-37页 |
| 3.2.1 气敏元件的结构 | 第34页 |
| 3.2.2 叉指电极的设计 | 第34-36页 |
| 3.2.3 气敏元件的制作工艺流程 | 第36-37页 |
| 3.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 气敏性能测试 | 第38-54页 |
| 4.1 气敏测试系统 | 第38-40页 |
| 4.2 气敏元件主要测试参数 | 第40-41页 |
| 4.2.1 灵敏度 | 第40页 |
| 4.2.2 选择性 | 第40页 |
| 4.2.3 工作温度 | 第40-41页 |
| 4.2.4 响应和恢复时间 | 第41页 |
| 4.2.5 稳定性 | 第41页 |
| 4.3 敏感元件气敏性能测试 | 第41-53页 |
| 4.3.1 不同烧结温度对气敏性能的影响 | 第41-45页 |
| 4.3.2 工作温度的测试 | 第45-48页 |
| 4.3.3 选择性测试 | 第48-51页 |
| 4.3.4 响应与恢复时间的测试 | 第51-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
