| 中文摘要 | 第4-5页 |
| 英文摘要 | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 MgZnO材料介绍 | 第8-14页 |
| 1.1.1 MgZnO材料的基本性质 | 第8-12页 |
| 1.1.2 MgZnO基日盲紫外探测器的研究 | 第12-14页 |
| 1.1.3 MgZnO基日盲紫外探测器面临的问题及发展趋势 | 第14页 |
| 1.2 激光分子束外延（LMBE）技术简介 | 第14-17页 |
| 1.2.1 LMBE技术原理 | 第14-15页 |
| 1.2.2 本文所使用的LMBE设备 | 第15-17页 |
| 1.3 本论文的研究内容和意义 | 第17-18页 |
| 第二章 MgZnO薄膜的LMBE制备及物性研究 | 第18-28页 |
| 2.1 MgZnO薄膜的制备 | 第18-19页 |
| 2.1.1 MgZnO靶材的制备 | 第18页 |
| 2.1.2 衬底选择 | 第18-19页 |
| 2.1.3 MgZnO的LMBE制备 | 第19页 |
| 2.2 不同取向的蓝宝石衬底对MgZnO薄膜的结构和光学性质的影响 | 第19-26页 |
| 2.2.1 生长条件 | 第19-20页 |
| 2.2.2 c面蓝宝石衬底上生长的MgZnO薄膜的结构 | 第20-21页 |
| 2.2.3 m面蓝宝石衬底上生长的MgZnO薄膜的结构 | 第21-23页 |
| 2.2.4 r面蓝宝石衬底上生长的MgZnO薄膜的结构 | 第23-24页 |
| 2.2.5 a面蓝宝石衬底上生长的MgZnO薄膜的结构 | 第24-25页 |
| 2.2.6 不同取向蓝宝石衬底对MgZnO光学性质的影响 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 立方相Mg0.34Zn0.66O薄膜的LMBE制备及物性研究 | 第28-38页 |
| 3.1 Mg0.34Zn0.66O在MgO（200）衬底上的LMBE制备 | 第28-30页 |
| 3.1.1 生长条件 | 第28页 |
| 3.1.2 Mg0.34Zn0.66O薄膜的物性研究 | 第28-30页 |
| 3.2 ZnO在MgO（200）衬底上的LMBE制备及其原位生长RHEED观测 | 第30-34页 |
| 3.2.1 生长条件和过程 | 第30页 |
| 3.2.2 ZnO薄膜的制备及RHEED观测与分析 | 第30-34页 |
| 3.3 MgZnO/MgO多层结构的L-MBE制备 | 第34-37页 |
| 3.3.1 生长条件和过程 | 第34-35页 |
| 3.3.2 MgZnO/MgO多层结构分析 | 第35-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-42页 |
| 致谢 | 第42页 |
