| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第11-21页 |
| 1.1、研究背景 | 第11页 |
| 1.2、气体传感器 | 第11-15页 |
| 1.2.1、半导体气体传感器 | 第12-15页 |
| 1.2.1.1、半导体气体传感器的特点 | 第12页 |
| 1.2.1.2、半导体气体传感器的分类 | 第12-13页 |
| 1.2.1.3、半导体气体传感器的重要参数 | 第13-14页 |
| 1.2.1.4、半导体气体传感器气敏机理 | 第14-15页 |
| 1.3、介孔材料 | 第15-17页 |
| 1.3.1、结构与性质 | 第15-16页 |
| 1.3.2、用途 | 第16页 |
| 1.3.4、制备方法 | 第16页 |
| 1.3.5、表征手段 | 第16-17页 |
| 1.4、In_2O_3材料简介 | 第17-19页 |
| 1.4.1、物理及化学性质 | 第17-18页 |
| 1.4.2、晶体结构与能带 | 第18页 |
| 1.4.3、主要用途 | 第18-19页 |
| 1.4.4、In_2O_3的制备 | 第19页 |
| 1.4.5、基于In_2O_3的NO_2气体传感器的研究进展 | 第19页 |
| 1.5、研究意义及展望 | 第19-21页 |
| 第二章 介孔In_2O_3的硬模板法的制备 | 第21-28页 |
| 2.1、引言 | 第21页 |
| 2.2、仪器与药品 | 第21页 |
| 2.3、合成方法 | 第21-24页 |
| 2.3.1、合成SBA-15 | 第21-22页 |
| 2.3.2、探索浸渍次数 | 第22-23页 |
| 2.3.3、探索去除模板的时间 | 第23页 |
| 2.3.4、合成对照组In_2O_3 | 第23-24页 |
| 2.4、材料表征结果 | 第24-28页 |
| 2.4.1、SBA-15 的表征结果 | 第24-25页 |
| 2.4.2、不同浸渍次数的样品的表征结果 | 第25-26页 |
| 2.4.3、不同去除模板时间的样品的表征结果 | 第26-28页 |
| 第三章 基于介孔Ni掺杂In_2O_3的NO_2传感器 | 第28-39页 |
| 3.1、引言 | 第28页 |
| 3.2、实验试剂与仪器 | 第28页 |
| 3.3、材料制备 | 第28-29页 |
| 3.4、器件制备 | 第29-30页 |
| 3.5、结果与讨论 | 第30-37页 |
| 3.5.1、敏感材料的表征结果 | 第30-35页 |
| 3.5.2、器件性能结果 | 第35-37页 |
| 3.6、小结 | 第37-39页 |
| 第四章 基于介孔Zr掺杂In_2O_3的NO_2传感器 | 第39-50页 |
| 4.1、引言 | 第39页 |
| 4.2、实验试剂与仪器 | 第39-40页 |
| 4.3、材料制备 | 第40页 |
| 4.4、器件制备 | 第40-41页 |
| 4.5、结果讨论 | 第41-48页 |
| 4.5.1、材料表征结果 | 第41-45页 |
| 4.5.2、器件性能结果 | 第45-48页 |
| 4.6、小结 | 第48-50页 |
| 第五章 结果总结与前景展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 作者简介 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
