双远心光学测量镜头匹配滤波特性及应用研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-12页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10页 |
| 1.2 研究内容和工作安排 | 第10-12页 |
| 第二章 用于几何量测量的光学系统 | 第12-27页 |
| 2.1 测量光学系统 | 第12-15页 |
| 2.1.1 常用系统构成 | 第12-13页 |
| 2.1.2 测量对系统要求 | 第13-14页 |
| 2.1.3 远心光学系统 | 第14-15页 |
| 2.2 光学系统中的信息传输 | 第15-17页 |
| 2.2.1 测量光学系统的衍射问题 | 第15-16页 |
| 2.2.2 BTC系统中的信息传输 | 第16-17页 |
| 2.3 双远心光学系统 | 第17-26页 |
| 2.3.1 系统参数 | 第17-18页 |
| 2.3.2 傅里叶光学在系统分析中的应用 | 第18-24页 |
| 2.3.3 提高BTC系统的边界检出精度的方法 | 第24-25页 |
| 2.3.4 提高BTC系统的临界分辨率的方法 | 第25-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 BTC光学系统频谱特性与滤波 | 第27-47页 |
| 3.1 用于光学磨床的BTC系统 | 第27-30页 |
| 3.1.1 典型物函数构建 | 第28页 |
| 3.1.2 系统输出特性评价 | 第28-30页 |
| 3.2 BTC测量系统传递函数 | 第30-42页 |
| 3.2.1 相干传递函数 | 第31-35页 |
| 3.2.2 非相干传递函数 | 第35-38页 |
| 3.2.3 调制传递函数 | 第38-40页 |
| 3.2.4 系统截止频率 | 第40-42页 |
| 3.3 匹配滤波器设计 | 第42-46页 |
| 3.3.1 超分辨光瞳滤波器设计 | 第42-45页 |
| 3.3.2 边界检出优化滤波器设计 | 第45-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 BTC系统滤波器特性仿真与实验 | 第47-68页 |
| 4.1 BTC系统仿真设置 | 第47-48页 |
| 4.2 圆环型振幅超分辨光瞳滤波器 | 第48-56页 |
| 4.2.1 二区漏光圆环型振幅超分辨率光瞳滤波器 | 第48-52页 |
| 4.2.2 三区漏光圆环型振幅超分辨率光瞳滤波器 | 第52-56页 |
| 4.3 典型输入物函数测试 | 第56-63页 |
| 4.3.1 不同尺寸光瞳对输出的影响 | 第57-58页 |
| 4.3.2 不同滤波器对输出的影响 | 第58-62页 |
| 4.3.3 不同直径下的输出 | 第62-63页 |
| 4.4 直径测量实验 | 第63-66页 |
| 4.4.1 实验装置 | 第63-64页 |
| 4.4.2 实验结果与分析 | 第64-66页 |
| 4.5 本章小结 | 第66-68页 |
| 总结与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 答辩委员会对论文的评定意见 | 第75页 |
