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化学辅助皮秒激光可控制备晶硅高效减反射疏水表面微结构的研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-26页
    1.1 课题研究背景第10-14页
        1.1.1 光伏产业发展概况第10-13页
        1.1.2 晶硅太阳能电池发展概况第13-14页
        1.1.3 制绒的重要性第14页
    1.2 国内外研究现状第14-23页
        1.2.1 晶硅太阳能电池常见绒面结构和研究现状第15-17页
        1.2.2 激光制绒主要绒面结构和研究现状第17-20页
        1.2.3 疏水在表面微结构中的应用第20-23页
    1.3 本文主要研究内容和意义第23-26页
第2章 实验材料、方法和设备第26-32页
    2.1 实验材料及样品处理方法第26页
    2.2 实验设备和工艺方法第26-31页
        2.2.1 实验设备第26-27页
        2.2.2 皮秒激光加工工艺方法第27-28页
        2.2.3 皮秒激光加工机理分析第28-31页
    2.3 样品表征方法和评价标准第31页
    本章小结第31-32页
第3章 皮秒激光-化学法制备微-纳米双结构锥孔绒面第32-52页
    3.1 激光扫描获得微米锥孔阵列第32-38页
        3.1.1 激光工艺参数的确定第32-34页
        3.1.2 不同扫描间距和次数对形成锥孔阵列的影响第34-37页
        3.1.3 激光扫描获得微米锥孔阵列机理分析第37-38页
    3.2 碱溶液各向异性刻蚀获得微-纳米双结构锥孔绒面第38-50页
        3.2.1 NaOH溶液腐蚀结果分析第38-40页
        3.2.2 TMAH溶液腐蚀结果对比分析第40-44页
        3.2.3 微-纳米双结构锥孔绒面的光场模拟与分析第44-45页
        3.2.4 钝化减反层的沉积与少子寿命的测量第45-49页
        3.2.5 光响应的实验测试第49-50页
    3.3 浸润性分析第50-51页
    本章小结第51-52页
第4章 皮秒激光化学法制备多孔硅绒面第52-62页
    4.1 激光扫描获得微米锥孔阵列及其机理分析第52-53页
    4.2 HF-HON3溶液腐蚀获得多孔硅绒面第53-55页
        4.2.1 不同腐蚀时间对表面形貌的影响第53-54页
        4.2.2 腐蚀机理分析第54-55页
    4.3 多孔硅绒面减反射特性表征与分析第55-56页
    4.4 多孔硅绒面光致发光特性表征与分析第56-59页
    4.5 多孔硅绒面疏水特性分析第59-61页
        4.5.1 腐蚀时间和表面形貌对疏水性的影响第59-60页
        4.5.2 疏水特性分析及获得超疏水条件第60-61页
    本章小结第61-62页
结论第62-64页
参考文献第64-68页
攻读硕士学位期间完成的学术成果第68-70页
致谢第70-71页

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