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CVD石墨烯的生长、应变及对Cu箔的抗氧化保护研究

摘要第5-7页
ABSTRACT第7-8页
第一章 绪论第12-46页
    1.1 研究背景第12-13页
    1.2 石墨烯的电子结构第13-14页
    1.3 石墨烯的性质第14-20页
        1.3.1 反常量子霍尔效应第15-16页
        1.3.2 双极场效应第16-17页
        1.3.3 光学性质第17-18页
        1.3.4 机械性能第18-19页
        1.3.5 热学性质第19-20页
    1.4 石墨烯的制备方法第20-26页
        1.4.1 机械剥离法第20-21页
        1.4.2 化学还原法第21-23页
        1.4.3 SiC热解第23页
        1.4.4 裁剪碳纳米管(CNTs)第23-24页
        1.4.5 化学气相沉积(CVD)第24-26页
    1.5 Cu衬底上CVD生长大尺寸单晶石墨烯的研究现状及存在的问题第26-30页
        1.5.1 Cu衬底处理——电化学抛光+高压退火第27-28页
        1.5.2 在包覆的Cu箔结构内壁生长第28页
        1.5.3 再凝固的Cu衬底第28-29页
        1.5.4 采用富氧的Cu衬底第29-30页
    1.6 绝缘衬底上石墨烯CVD生长的研究现状及存在的问题第30-31页
    1.7 石墨烯包覆铜箔的抗氧化作用的研究现状及存在的问题第31-33页
    1.8 本论文的选题背景与研究内容第33-35页
        1.8.1 选题背景第33-34页
        1.8.2 本论文的研究内容第34-35页
    参考文献第35-46页
第二章 SiO_2衬底上石墨烯的CVD生长及应变研究第46-86页
    2.1 研究背景第46-57页
        2.1.1 绝缘衬底上直接CVD生长石墨烯的研究现状第46-52页
        2.1.2 石墨烯的应变与拉曼峰的位移第52-57页
    2.2 SiO_2衬底上graphene的制备与表征第57-62页
        2.2.1 实验设备第57页
        2.2.2 石墨烯的生长第57-59页
        2.2.3 石墨烯的转移第59页
        2.2.4 石墨烯的表征方法第59页
        2.2.5 SiO_2/Si衬底上直接生长的石墨烯的形貌分析第59-61页
        2.2.6 石墨烯的拉曼表征第61-62页
    2.3 不同生长时间下石墨烯的压应变与尺寸的依赖关系第62-69页
        2.3.1 石墨烯拉曼谱2D峰蓝移的原因分析第62-64页
        2.3.2 SiO_2/Si衬底上直接生长的石墨烯中的压应变第64-65页
        2.3.3 SiO_2/Si衬底上直接生长的石墨烯中的应变释放的分析第65-69页
    2.4 SiO_2/Si衬底上直接生长石墨烯的生长机理探讨与生长调控第69-80页
        2.4.1 多孔卷曲Cu箔在生长过程中的作用第69-70页
        2.4.2 衬底与Cu箔不同距离的生长结果比较第70-72页
        2.4.3 催化Cu箔的反复利用第72-73页
        2.4.4 石英衬底上直接生长的石墨烯的透光性能第73-74页
        2.4.5 SiO_2/Si衬底上直接生长石墨烯的生长调控第74-80页
    2.5 本章小结第80-81页
    参考文献第81-86页
第三章 石墨烯包覆铜箔的抗氧化作用研究第86-122页
    3.1 研究背景第86-90页
    3.2 单层多层共存石墨烯的CVD生长及表征第90-92页
        3.2.1 单层多层共存石墨烯的CVD生长第90页
        3.2.2 单层多层共存石墨烯的表征第90-92页
    3.3 石墨烯保护下的铜的抗氧化性第92-104页
        3.3.1 氧化实验条件的选择第92-93页
        3.3.2 有石墨烯保护的铜金属的抗氧化结果第93-104页
    3.4 不同层数石墨烯保护的铜衬底的氧化机理第104-115页
        3.4.1 不同层数石墨烯保护下氧化通道的形成及氧化过程第104-111页
        3.4.2 不同层数石墨烯保护下铜的氧化速率与氧化反应位点的关系第111-113页
        3.4.3 单层石墨烯保护下缺陷数量对反应速率的影响第113-115页
    3.5 本章小结第115-116页
    参考文献第116-122页
第四章 石墨烯生长的成核控制及大面积单晶制备第122-146页
    4.1 研究背景第122-123页
    4.2 石墨烯成核密度的控制第123-128页
        4.2.1 成核密度控制方法——减少碳源第124-125页
        4.2.2 成核密度控制方法——升温退火对衬底的处理第125-128页
    4.3 石墨烯的二次生长第128-134页
        4.3.1 二次生长——降低CH_4浓度第130-131页
        4.3.2 二次生长——升高温度第131-134页
    4.4 CuO衬底上大面积单晶石墨烯的生长第134-140页
    4.5 本章小结第140-141页
    参考文献第141-146页
第五章 展望第146-148页
致谢第148-152页
在读期间发表的学术论文第152页
    己发表论文第152页
    待发表论文第152页
    专利情况第152页

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