| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 1 绪论 | 第11-31页 |
| ·课题研究的背景 | 第11-13页 |
| ·摆臂式轮廓仪国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·摆臂式轮廓仪国外研究现状 | 第13-14页 |
| ·摆臂式轮廓仪国内研究现状 | 第14-15页 |
| ·课题研究目标与意义 | 第15-24页 |
| ·摆臂式轮廓仪的工作原理 | 第15-19页 |
| ·倾斜测量模式测头空间位置对检测结果的影响 | 第19-23页 |
| ·课题的提出和主要研究任务 | 第23-24页 |
| ·偏心误差测量方法综述 | 第24-28页 |
| ·芯轴和百分表测量法 | 第24页 |
| ·等高V形块和千分表测量法 | 第24-25页 |
| ·两顶尖孔和千分表测量法 | 第25页 |
| ·千分表和高度游标卡尺测量法 | 第25页 |
| ·V形块间接测量法 | 第25-26页 |
| ·千分表对中测量法 | 第26-27页 |
| ·激光对中测量法 | 第27-28页 |
| ·偏心误差测量方法小结 | 第28页 |
| ·摆臂式轮廓仪有效臂长综述 | 第28-29页 |
| ·旋转测量法 | 第28页 |
| ·激光跟踪仪测量法 | 第28-29页 |
| ·摆臂式轮廓仪有效臂长测量方法小结 | 第29页 |
| ·主要工作和论文组织安排 | 第29-31页 |
| 2 摆臂式轮廓仪测头偏心误差测量方法研究 | 第31-41页 |
| ·光谱共焦传感器测量摆臂式轮廓仪测头偏心误差原理 | 第31-33页 |
| ·光谱共焦传感器测量原理 | 第33页 |
| ·光谱共焦传感器测量摆臂式轮廓仪测头偏心误差算法仿真 | 第33-34页 |
| ·摆臂式轮廓仪测头偏心误差方法的影响因素 | 第34-36页 |
| ·光谱共焦传感器测量摆臂式轮廓仪测头偏心误差精度理论分析 | 第36-39页 |
| ·摆臂式轮廓仪测头偏心误差实验器材选择及相关参数 | 第36-37页 |
| ·Monte-Carlo模拟方法 | 第37-38页 |
| ·测头偏心误差测量不确定度理论分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 3 摆臂式轮廓仪有效臂长测量方法研究 | 第41-55页 |
| ·点源显微镜标定摆臂式轮廓仪测头系统空间坐标位置关系 | 第42-45页 |
| ·点源显微镜的工作原理 | 第42-43页 |
| ·点源显微镜标定摆臂式轮廓仪测头系统空间坐标关系的原理 | 第43-44页 |
| ·摆臂式轮廓仪测头系统空间坐标关系的实验器材及精度分析 | 第44-45页 |
| ·激光跟踪仪测量摆臂式轮廓仪横臂转台轴心线 | 第45-49页 |
| ·激光跟踪仪的结构和工作原理 | 第45-47页 |
| ·激光跟踪仪测量摆臂式轮廓仪横臂转台轴心线的原理 | 第47-49页 |
| ·激光跟踪仪测量的误差因素组成 | 第49页 |
| ·摆臂式轮廓仪有效臂长的测量 | 第49-53页 |
| ·摆臂式轮廓仪有效臂长的测量方法 | 第49-50页 |
| ·Monte-Carlo模拟方法评价有效臂长测量不确定度 | 第50-51页 |
| ·摆臂式轮廓仪有效臂长实验仪器及参数 | 第51-52页 |
| ·摆臂式轮廓仪有效臂长算法及仿真分析 | 第52-53页 |
| ·摆臂式轮廓仪测头系统设计 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 4 摆臂式轮廓仪测头偏心误差实验研究 | 第55-59页 |
| ·摆臂式轮廓仪测头偏心误差对比实验平台搭建 | 第55页 |
| ·摆臂式轮廓仪测头偏心误差对比实验数据采集及处理 | 第55-57页 |
| ·摆臂式轮廓仪测头偏心误差实验结果讨论 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 5 摆臂式轮廓仪有效臂长实验研究 | 第59-67页 |
| ·激光跟踪仪测量标准环半径 | 第60-61页 |
| ·点源显微镜标定测头系统空间位置坐标关系 | 第61-62页 |
| ·激光跟踪仪测量横臂转台轴心线 | 第62-64页 |
| ·对比实验有效臂长和激光跟踪仪测量有效臂长 | 第64-65页 |
| ·摆臂式轮廓仪有效臂长实验结果讨论 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·论文总结 | 第67页 |
| ·研究展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第72-73页 |
