LED集成阵列芯片理论及关键工艺研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-8页
目录	第8-10页
第1章 绪论	第10-22页
·引言	第10-11页
·LED 集成阵列芯片介绍	第11页
·LED 集成阵列芯片的国内外研究现状	第11-19页
·课题来源及本文主要研究的内容	第19-22页
第2章 LED 集成阵列芯片相关理论研究	第22-38页
·LED 的理论基础	第22-23页
·制作 LED 集成阵列芯片材料的选取	第23-25页
·隔离沟槽对 LED 集成阵列芯片出光效率的影响	第25-35页
·本章小结	第35-38页
第3章 LED 集成阵列芯片的基本制作技术	第38-54页
·微型 LED 集成阵列芯片的制作工艺流程	第38-39页
·微型 LED 集成阵列芯片制作的相关工艺	第39-48页
·微型 LED 集成阵列芯片欧姆接触电极制作工艺	第48-53页
·本章小结	第53-54页
第4章 LED 集成阵列芯片制作的实验研究	第54-74页
·版图设计	第54-56页
·LED 集成阵列芯片的隔离槽制作	第56-61页
·LED 集成阵列芯片隔离槽的填充	第61-70页
·电极图形制作模拟	第70-72页
·本章总结	第72-74页
第5章 总结	第74-78页
·全文总结	第74-75页
·创新点	第75页
·研究展望	第75-78页
参考文献	第78-82页
在学期间学术成果情况	第82-83页
指导教师及作者简介	第83-84页
致谢	第84页