| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·微机电系统的基本概念 | 第9-13页 |
| ·MEMS 的特点 | 第10-11页 |
| ·MEMS 存在的问题 | 第11页 |
| ·MEMS 的应用 | 第11-13页 |
| ·微驱动器简介 | 第13-21页 |
| ·微驱动器的驱动原理 | 第13-17页 |
| ·微驱动器的驱动方式 | 第17页 |
| ·微驱动器的分类 | 第17-18页 |
| ·微驱动器的加工技术 | 第18页 |
| ·微驱动器的国内外研究现状 | 第18-21页 |
| ·研究的目的与意义 | 第21页 |
| ·论文的主要工作 | 第21-23页 |
| 第二章 硅基微驱动器的结构模型及原理 | 第23-33页 |
| ·硅基微驱动器模型及工作原理 | 第23-24页 |
| ·硅基微驱动器的设计原理 | 第24-30页 |
| ·微梁的轴向拉伸与压缩 | 第24-25页 |
| ·压杆稳定原理 | 第25-26页 |
| ·纵横弯曲基本概念 | 第26-27页 |
| ·静电驱动原理及微结构静电力计算 | 第27-30页 |
| ·硅基微驱动器的结构参数设计 | 第30-31页 |
| ·微驱动器的材料选择 | 第30-31页 |
| ·微驱动器的结构参数设定 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 硅基微驱动器的受力分析及动力学模型的建立 | 第33-45页 |
| ·硅基微驱动器的受力分析及相关计算 | 第33-41页 |
| ·纵横弯曲组合变形分析 | 第33-35页 |
| ·欧拉临界载荷公式及适用范围的验证 | 第35-37页 |
| ·微梁欧拉临界载荷的确定 | 第37-38页 |
| ·轴向载荷的构成及相关计算 | 第38-41页 |
| ·微驱动器动力学模型的建立 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 硅基微驱动器的静力分析 | 第45-61页 |
| ·横向载荷作用下微驱动器的静态变形分析 | 第45-53页 |
| ·近似解析法求解微梁的变形 | 第45-47页 |
| ·数值方法求解微梁的变形 | 第47-49页 |
| ·横向载荷作用微梁的仿真分析 | 第49-53页 |
| ·横、轴向载荷共同作用下微驱动器的静态变形分析 | 第53-59页 |
| ·微驱动器中微梁的变形理论分析 | 第53-55页 |
| ·横、轴向载荷共同作用微梁的仿真分析 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第五章 硅基微驱动器的动力分析 | 第61-81页 |
| ·不同形式的载荷作用微梁的振动响应 | 第61-65页 |
| ·分布载荷作用微梁的振动响应 | 第61-64页 |
| ·静电驱动微梁的动态响应 | 第64-65页 |
| ·微驱动器中微梁的动态响应仿真分析与对比 | 第65-70页 |
| ·不同时间点处微梁的动态响应 | 第65-67页 |
| ·微梁上不同位移处的点的动态响应 | 第67-68页 |
| ·不同驱动电压下微梁的动态响应 | 第68-69页 |
| ·硅基微驱动器静力学变形分析与动态响应分析结果对比 | 第69-70页 |
| ·轴向载荷对微梁最大振动挠度的影响分析 | 第70-74页 |
| ·调节电压对微梁最大振动挠度的影响 | 第70-71页 |
| ·装配挤压量对微梁最大振动挠度的影响 | 第71-72页 |
| ·炉内外温差对微梁最大振动挠度的影响 | 第72-74页 |
| ·轴向载荷对微梁一阶阻尼固有频率的影响分析 | 第74-77页 |
| ·调节电压对一阶阻尼固有频率的影响 | 第74-75页 |
| ·炉内外温差对一阶阻尼固有频率的影响 | 第75-76页 |
| ·装配挤压量对一阶阻尼固有频率的影响 | 第76-77页 |
| ·硅基微驱动器结构参数选择对其变形量的影响 | 第77-80页 |
| ·驱动电极对上下极板初始间距对微驱动器的变形量的影响 | 第77-78页 |
| ·微梁的长度对微驱动器的变形量的影响 | 第78-79页 |
| ·微梁的厚度对微驱动器的变形量的影响 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| ·总结 | 第81-82页 |
| ·展望 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 在校期间研究成果 | 第89-91页 |
| 附录 | 第91-93页 |