扭臂式微镜的建模与优化
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·国内外发展状况 | 第8-11页 |
| ·扭臂式微镜的国内外研究概况 | 第11-12页 |
| ·本文的主要工作 | 第12-15页 |
| 第二章 MEMS 扭臂式微镜的工作原理和结构 | 第15-25页 |
| ·概述 | 第15页 |
| ·MEMS 光开关及其组成单元 | 第15-19页 |
| ·MEMS 光开关结构 | 第15-16页 |
| ·MEMS 光开关的工作原理 | 第16-17页 |
| ·MEMS 光开关驱动分类 | 第17-19页 |
| ·静电驱动微镜的结构分类 | 第19-21页 |
| ·梳齿式光开关 | 第19-20页 |
| ·悬臂梁式光开关 | 第20页 |
| ·扭臂式光开关 | 第20-21页 |
| ·扭臂式光开关基本结构和工作原理 | 第21-23页 |
| ·工作原理 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 扭臂式微镜数值建模 | 第25-41页 |
| ·扭臂式微镜数学模型 | 第25-31页 |
| ·静电力矩 | 第27-28页 |
| ·阻尼力矩 | 第28-31页 |
| ·数值求解及仿真 | 第31-33页 |
| ·数值求解气膜阻尼的验证与分析 | 第33-37页 |
| ·扭臂式微镜静态动态吸合分析 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 微镜结构优化设计 | 第41-49页 |
| ·扭臂式微镜优化问题描述 | 第41-43页 |
| ·目标函数 | 第41-42页 |
| ·约束条件 | 第42-43页 |
| ·遗传算法及结果分析 | 第43-46页 |
| ·优化结果 | 第44-45页 |
| ·结果分析 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-49页 |
| 第五章 总结与展望 | 第49-51页 |
| ·工作总结 | 第49页 |
| ·论文中的不足及工作展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
