直流与双频电源联合驱动容性耦合放电的特性
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·等离子体概述 | 第9页 |
| ·刻蚀工艺概述 | 第9-11页 |
| ·等离子体源简介 | 第11-18页 |
| ·几种常见的等离子体源 | 第11-14页 |
| ·容性耦合等离子体源的发展历程 | 第14-17页 |
| ·直流与射频电源联合驱动CCP源的研究进展 | 第17-18页 |
| ·本文的目的和结构安排 | 第18-20页 |
| 2 PIC/MCC模型介绍 | 第20-30页 |
| ·粒子模拟概述 | 第20页 |
| ·粒子模拟流程 | 第20-29页 |
| ·带电粒子的初始化 | 第21-22页 |
| ·电荷密度分布 | 第22-23页 |
| ·求解泊松方程 | 第23-24页 |
| ·粒子推进 | 第24-25页 |
| ·蒙特卡罗碰撞 | 第25-28页 |
| ·模型的稳定性条件 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 直流电源对氩氧混合气体放电特性的影响 | 第30-42页 |
| ·物理模型 | 第30-32页 |
| ·模拟结果与讨论 | 第32-41页 |
| ·氩气电离率的时空分布 | 第32-34页 |
| ·平均电离率分布 | 第34-35页 |
| ·带电粒子的密度分布 | 第35-37页 |
| ·电子温度分布 | 第37-38页 |
| ·下极板上的电子能量分布 | 第38-40页 |
| ·电子能量概率分布 | 第40页 |
| ·带电粒子的通量随电压的变化 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 不同氩氧混合气体比例对放电特性的影响 | 第42-49页 |
| ·气体平均电离率分布 | 第42-44页 |
| ·无外加直流电源 | 第42-43页 |
| ·外加电压为-200V | 第43-44页 |
| ·电子密度分布 | 第44-45页 |
| ·无外加直流电源 | 第44-45页 |
| ·外加电压为-200V | 第45页 |
| ·电子温度 | 第45-47页 |
| ·无外加直流电源 | 第45-46页 |
| ·外加电压为-200V | 第46-47页 |
| ·带电粒子通量随不同气体比例的变化 | 第47-48页 |
| ·无外加直流电源 | 第47页 |
| ·外加电压为-200V | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-54页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
