| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·光电产品检测技术概述 | 第8页 |
| ·国内外光电产品检测装备的研究现状 | 第8-11页 |
| ·国内研究现状 | 第8-10页 |
| ·国外研究现状 | 第10-11页 |
| ·光电产品检测装备的分类及设计依据 | 第11-12页 |
| ·课题来源、研究意义及主要研究内容 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 2 光电产品检测方案的设计 | 第14-26页 |
| ·光电产品的三种检测方法及其对机构设计的功能要求 | 第14-16页 |
| ·光电产品检测平台的方案设计 | 第16-22页 |
| ·相机阵列的布置 | 第16-17页 |
| ·检测方案设计 | 第17-22页 |
| ·光电产品检测平台的方案优选 | 第22-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 光电产品检测平台机构的概念设计及结构分析 | 第26-37页 |
| ·机构类型概述 | 第26-27页 |
| ·光电产品检测平台机构的概念设计及结构分析 | 第27-36页 |
| ·2-dof 平面型光电产品检测平台 | 第27-28页 |
| ·3-dof 平面型光电产品检测平台 | 第28页 |
| ·4-dof 空间型光电产品检测平台 | 第28-31页 |
| ·5-dof 空间型光电产品检测平台 | 第31-33页 |
| ·6-dof 空间型光电产品检测平台 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 3-dof 平面型光电产品检测平台机构的运动学研究 | 第37-59页 |
| ·Ⅰ型 3-dof 平面型光电产品检测平台机构 | 第37-48页 |
| ·运动学分析 | 第37-40页 |
| ·工作空间分析 | 第40-44页 |
| ·误差分析 | 第44-48页 |
| ·Ⅱ型 3-dof 平面型光电产品检测平台机构 | 第48-58页 |
| ·运动学分析 | 第49-52页 |
| ·工作空间分析 | 第52-55页 |
| ·误差分析 | 第55-58页 |
| ·本章小节 | 第58-59页 |
| 5 6-dof 光电产品检测平台机构的驱动源参数计算 | 第59-79页 |
| ·6-dof 光电产品检测平台检测过程分析 | 第59-60页 |
| ·6-dof 光电产品检测平台驱动源参数的计算 | 第60-78页 |
| ·3-dof(X-Y-θ)子工作台的驱动源参数计算 | 第60-62页 |
| ·伸缩杆式 3-dof 并联子平台的驱动源参数计算 | 第62-68页 |
| ·伸缩杆式 6-dof 光电产品检测平台驱动源极限位置分析及计算 | 第68-70页 |
| ·滑块式 3-dof 并联子平台的驱动源参数计算 | 第70-76页 |
| ·滑块式 6-dof 光电产品检测平台驱动源极限位置分析及计算 | 第76-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 6 6-dof 光电产品检测平台机构的运动学分析 | 第79-91页 |
| ·伸缩杆式 3-dof 并联子平台机构的运动学分析及仿真 | 第79-82页 |
| ·伸缩杆式 6-dof 光电产品检测平台机构的运动学分析及仿真 | 第82-85页 |
| ·滑块式 3-dof 并联子平台机构的运动学分析及仿真 | 第85-88页 |
| ·滑块式 6-dof 光电产品检测平台机构的运动学分析及仿真 | 第88-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 7 滑块式 6-dof 光电产品检测平台机构的误差建模与仿真 | 第91-103页 |
| ·误差模型的建立 | 第91-93页 |
| ·对滑块型 3-dof 并联子平台机构正解模型求全微分 | 第91-92页 |
| ·建立误差模型 | 第92-93页 |
| ·误差模型的数值仿真及验证 | 第93-96页 |
| ·输入变量对机构误差的影响 | 第96-99页 |
| ·输入变量 l1对 P 点位置误差的影响 | 第96-97页 |
| ·输入变量 l2对 P 点位置误差的影响 | 第97-98页 |
| ·输入变量 l3对 P 点位置误差的影响 | 第98-99页 |
| ·输入变量△x 及△y 对 P 点位置误差的影响 | 第99页 |
| ·结构参数误差对机构误差的影响 | 第99-102页 |
| ·杆长误差的影响 | 第99-100页 |
| ·铰链位置误差的影响 | 第100-101页 |
| ·输入误差的影响 | 第101-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 8 滑块式 6-dof 光电产品检测平台机构的静刚度及模态分析 | 第103-115页 |
| ·滑块式 6-dof 光电产品检测平台机构的有限元模型 | 第103-104页 |
| ·滑块式 6-dof 光电产品检测平台机构的静刚度分析 | 第104-107页 |
| ·滑块式 6-dof 光电产品检测平台机构的模态分析 | 第107-114页 |
| ·模态分析理论 | 第107-109页 |
| ·模态计算与振型分析 | 第109-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 9 总结与展望 | 第115-117页 |
| ·本文的主要工作及创新 | 第115-116页 |
| ·本课题进一步研究的工作 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-122页 |
| 攻读学位期间研究成果 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124页 |
