PECVD设备加热系统分析及优化

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第1章 绪论	第9-18页
·课题来源及发展情况	第9-12页
·太阳电池背景资料	第9-10页
·国内外光伏产业发展现状	第10-12页
·太阳电池的产业发展方向	第12页
·太阳电池减反膜镀膜方案选择	第12-16页
·温度场分析的意义	第16页
·研究内容	第16-18页
第2章 PECVD设备原理及实验	第18-30页
·PECVD方法制备氮化硅技术	第18-23页
·PECVD原理介绍	第18页
·PECVD等离子场放电原理	第18-19页
·PECVD法制备氮化硅薄膜沉积动力学过程	第19-20页
·PECVD工艺参数研究	第20-22页
·PECVD工艺过程	第22-23页
·PECVD实验设备介绍	第23-26页
·测试温度场实验方法及结果	第26-30页
第3章 PECVD设备加热过程的有限元模拟	第30-52页
·温度场问题的有限元方法介绍	第30-32页
·有限元温度场模拟前胃处理	第32-35页
·热分析数学模型	第32-33页
·有限元模型简化	第33页
·有限元计算的基本假设	第33-34页
·初始条件及载荷处理	第34-35页
·PECVD设备温度场的ANSYS分析	第35-42页
·前处理	第36-40页
·辐射矩阵求懈	第40-41页
·加载求解	第41-42页
·数值模拟结果及分析	第42-52页
第4章 PECVD设备反应室加热系统优化设计	第52-60页
·优化设计基本概念	第52-53页
·优化模型的建立	第53-54页
·优化过程	第54-56页
·优化实例	第56-60页
第5章 结论与展望	第60-63页
·结论	第60页
·未来工作的展望	第60-63页
参考文献	第63-67页
致谢	第67页