大功率LED管芯制造工艺研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·大功率LED 研究发展及其意义 | 第7-8页 |
| ·大功率LED 管芯发展现状 | 第8-10页 |
| ·大功率LED 技术难点及解决方案 | 第8-9页 |
| ·几种大功率LED 电极形状 | 第9-10页 |
| ·本文研究内容及安排 | 第10-13页 |
| 第二章 大功率LED 理论基础 | 第13-25页 |
| ·LED 发光原理与基本结构 | 第13-15页 |
| ·大功率LED 性能指标 | 第15-19页 |
| ·LED 电特性 | 第15-16页 |
| ·LED 光特性 | 第16-18页 |
| ·LED 开关特性 | 第18页 |
| ·LED 颜色特性 | 第18页 |
| ·LED 热学特性 | 第18页 |
| ·LED 可靠性 | 第18-19页 |
| ·大功率LED 制造工艺 | 第19-23页 |
| ·光刻工艺 | 第19-21页 |
| ·刻蚀工艺 | 第21页 |
| ·蒸镀金属工艺 | 第21-22页 |
| ·湿法腐蚀工艺 | 第22页 |
| ·PECVD 法淀积二氧化硅工艺 | 第22页 |
| ·研磨工艺 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 大功率LED 电极设计及其制造 | 第25-45页 |
| ·大功率LED 管芯设计原理 | 第25-26页 |
| ·大功率LED 管芯版图设计 | 第26-31页 |
| ·大功率LED 电极设计原则 | 第26-27页 |
| ·绘制版图软件L-edit 简介 | 第27-28页 |
| ·大功率LED 设计版图 | 第28-31页 |
| ·大功率LED 管芯A 版制造 | 第31-34页 |
| ·大功率LED 管芯A 版试制 | 第31-33页 |
| ·大功率LED 管芯A 版改进工艺 | 第33-34页 |
| ·大功率LED 管芯B 版制造 | 第34-35页 |
| ·大功率LED 管芯A、B 版数据分析对比 | 第35-37页 |
| ·大功率LED 管芯SEM 分析及老化实验 | 第37-44页 |
| ·大功率LED 的SEM 分析 | 第37-40页 |
| ·大功率LED 老化实验 | 第40-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 大功率LED 背镀金属研究 | 第45-51页 |
| ·背镀金属机理 | 第45页 |
| ·背镀金属实验过程及分析 | 第45-49页 |
| ·正面划片实验 | 第46页 |
| ·背铝相关实验 | 第46-47页 |
| ·修改测量条件实验 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 大功率LED 光子晶体研究 | 第51-61页 |
| ·光子晶体 | 第51-53页 |
| ·光子晶体 | 第51-52页 |
| ·具有光子晶体结构的大功率LED | 第52-53页 |
| ·光子晶体工艺实验 | 第53-59页 |
| ·光子晶体制备工艺实验过程 | 第53-57页 |
| ·光子晶体实验分析 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 第六章 结束语 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
