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双振子压电微泵设计与理论分析

摘要第1-8页
Abstract第8-9页
第1章 绪论第9-20页
   ·引言第9-10页
   ·压电微泵模型及其特点第10页
   ·压电微泵的国内外发展现状第10-11页
     ·国外的发展现状第10-11页
     ·国内的发展现状第11页
   ·压电微泵分类简介第11-18页
     ·有阀压电薄膜泵第12-14页
     ·无阀压电薄膜泵第14-18页
   ·压电泵存在的问题及应用前景第18-19页
     ·目前存在的问题第18页
     ·压电泵的技术展望与应用前景第18-19页
   ·本文研究的主要内容第19-20页
第2章 压电效应和压电振子振动的理论分析第20-33页
   ·压电效应与压电陶瓷第20-23页
     ·压电效应与逆压电效应第20-21页
     ·压电陶瓷第21-23页
   ·压电方程第23-25页
   ·薄板弯曲振动的理论分析第25-30页
     ·薄板弯曲振动的基本假定第25页
     ·薄板弯曲振动的微分方程第25-27页
     ·弯曲振动板的边界条件第27-29页
     ·薄板的自由弯曲振动的解第29-30页
   ·复合压电振子振动的理论分析第30-32页
     ·压电驱动工作原理第30-31页
     ·圆形压电复合层薄板的曲面微分方程第31-32页
   ·本章小结第32-33页
第3章 压电微泵振子的有限元分析第33-46页
   ·有限元概述第33-34页
     ·有限元分析方法简介第33页
     ·有限元法的解题步骤第33-34页
   ·有限元软件 ANSYS第34-35页
     ·ANSYS 的技术特点及功能简介第34-35页
     ·有限元分析过程第35页
   ·压电振子的有限元分析第35-44页
     ·压电复合振子的结构及参数第35-36页
     ·几种形状振子的有限元分析第36-44页
   ·微泵容积变化的计算与分析第44-45页
   ·本章小结第45-46页
第4章 双振子压电微泵结构设计及流量分析第46-56页
   ·双振子压电泵的结构及理论分析第46-48页
     ·单振子压电泵的基本结构与工作原理第46-47页
     ·双振子压电泵的结构与工作原理第47-48页
   ·双振子压电泵的振子分析第48-49页
   ·双振子压电微泵流量变化分析第49-50页
   ·双振子压电泵的流量影响因素分析第50-52页
     ·膜片厚度与容积变化的关系第50页
     ·驱动电压与压电泵容积变化关系第50-52页
   ·双振子压电微泵的泵腔结构对流量影响分析第52-55页
     ·微泵出口位置分析比较第52-54页
     ·管嘴形式的选择第54-55页
   ·本章小结第55-56页
第5章 双振子压电微泵控制研究第56-64页
   ·压电振动控制方法第56-58页
   ·PID控制的基本理论第58-59页
   ·压电陶瓷驱动方法第59-61页
     ·压电陶瓷驱动电源的特点第59页
     ·电压驱动方法第59-60页
     ·电荷驱动方法第60-61页
   ·双振子压电微泵控制系统第61-63页
     ·结构振动控制系统组成第61页
     ·双振子压电微泵控制系统设计第61-63页
   ·本章小结第63-64页
结论与展望第64-66页
参考文献第66-69页
致谢第69-70页
攻读硕士学位期间发表的论文情况第70页

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