双振子压电微泵设计与理论分析
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·压电微泵模型及其特点 | 第10页 |
| ·压电微泵的国内外发展现状 | 第10-11页 |
| ·国外的发展现状 | 第10-11页 |
| ·国内的发展现状 | 第11页 |
| ·压电微泵分类简介 | 第11-18页 |
| ·有阀压电薄膜泵 | 第12-14页 |
| ·无阀压电薄膜泵 | 第14-18页 |
| ·压电泵存在的问题及应用前景 | 第18-19页 |
| ·目前存在的问题 | 第18页 |
| ·压电泵的技术展望与应用前景 | 第18-19页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第19-20页 |
| 第2章 压电效应和压电振子振动的理论分析 | 第20-33页 |
| ·压电效应与压电陶瓷 | 第20-23页 |
| ·压电效应与逆压电效应 | 第20-21页 |
| ·压电陶瓷 | 第21-23页 |
| ·压电方程 | 第23-25页 |
| ·薄板弯曲振动的理论分析 | 第25-30页 |
| ·薄板弯曲振动的基本假定 | 第25页 |
| ·薄板弯曲振动的微分方程 | 第25-27页 |
| ·弯曲振动板的边界条件 | 第27-29页 |
| ·薄板的自由弯曲振动的解 | 第29-30页 |
| ·复合压电振子振动的理论分析 | 第30-32页 |
| ·压电驱动工作原理 | 第30-31页 |
| ·圆形压电复合层薄板的曲面微分方程 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 压电微泵振子的有限元分析 | 第33-46页 |
| ·有限元概述 | 第33-34页 |
| ·有限元分析方法简介 | 第33页 |
| ·有限元法的解题步骤 | 第33-34页 |
| ·有限元软件 ANSYS | 第34-35页 |
| ·ANSYS 的技术特点及功能简介 | 第34-35页 |
| ·有限元分析过程 | 第35页 |
| ·压电振子的有限元分析 | 第35-44页 |
| ·压电复合振子的结构及参数 | 第35-36页 |
| ·几种形状振子的有限元分析 | 第36-44页 |
| ·微泵容积变化的计算与分析 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 双振子压电微泵结构设计及流量分析 | 第46-56页 |
| ·双振子压电泵的结构及理论分析 | 第46-48页 |
| ·单振子压电泵的基本结构与工作原理 | 第46-47页 |
| ·双振子压电泵的结构与工作原理 | 第47-48页 |
| ·双振子压电泵的振子分析 | 第48-49页 |
| ·双振子压电微泵流量变化分析 | 第49-50页 |
| ·双振子压电泵的流量影响因素分析 | 第50-52页 |
| ·膜片厚度与容积变化的关系 | 第50页 |
| ·驱动电压与压电泵容积变化关系 | 第50-52页 |
| ·双振子压电微泵的泵腔结构对流量影响分析 | 第52-55页 |
| ·微泵出口位置分析比较 | 第52-54页 |
| ·管嘴形式的选择 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 双振子压电微泵控制研究 | 第56-64页 |
| ·压电振动控制方法 | 第56-58页 |
| ·PID控制的基本理论 | 第58-59页 |
| ·压电陶瓷驱动方法 | 第59-61页 |
| ·压电陶瓷驱动电源的特点 | 第59页 |
| ·电压驱动方法 | 第59-60页 |
| ·电荷驱动方法 | 第60-61页 |
| ·双振子压电微泵控制系统 | 第61-63页 |
| ·结构振动控制系统组成 | 第61页 |
| ·双振子压电微泵控制系统设计 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论与展望 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文情况 | 第70页 |