| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·选题的目的和意义 | 第7页 |
| ·国内外位移传感器研究和应用概况 | 第7-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 2 双光栅干涉位移传感器的原理与系统设计 | 第15-27页 |
| ·双光栅干涉位移测量原理 | 第15-22页 |
| ·双光栅干涉位移传感器系统设计 | 第22-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 双光栅干涉位移传感器信号处理电路设计 | 第27-45页 |
| ·信号处理电路整体设计 | 第27-28页 |
| ·信号处理电路的设计 | 第28-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 双光栅干涉位移传感器的实验构架与误差因素分析 | 第45-52页 |
| ·双光栅干涉位移传感器实验装置的架构 | 第45-50页 |
| ·双光栅干涉位移传感器的误差因素分析 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·全文总结 | 第52-53页 |
| ·展望及今后工作建议 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的专利成果目录 | 第58页 |