| 摘要 | 第1-12页 |
| 第一章：绪论 | 第12-21页 |
| 1．1 概述 | 第12-13页 |
| 1．2 铁电薄膜的研究概况 | 第13-18页 |
| 1．2．1 铁电薄膜的研究历史 | 第13-14页 |
| 1．2．2 铁电薄膜的制备技术 | 第14-15页 |
| 1．2．3 铁电薄膜的研究进展 | 第15-16页 |
| 1．2．4 集成铁电学的发展 | 第16-18页 |
| 1．2．5 集成铁电微电机械系统 | 第18页 |
| 1．3 本文的主要内容 | 第18-21页 |
| 第二章：钛酸锶钡薄膜的制备与G-V特性 | 第21-40页 |
| 2．1 钛酸锶钡薄膜的结构 | 第21-23页 |
| 2．1．1 钙钛矿结构 | 第21-22页 |
| 2．1．2 钛酸锶钡的结构 | 第22-23页 |
| 2．2 钛酸锶钡薄膜的制备 | 第23-31页 |
| 2．2．1 钛酸锶钡铁电薄膜的研究意义 | 第23-25页 |
| 2．2．2 脉冲激光沉积法制备介电薄膜的工艺 | 第25-30页 |
| 2．2．3 钛酸锶钡陶瓷靶的制备 | 第30页 |
| 2．2．4 钛酸锶钡薄膜的制备条件 | 第30-31页 |
| 2．3 (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3薄膜的结构、形貌与介电特性 | 第31-37页 |
| 2．3．1 (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3(x=0.35，0.50)薄膜的结构与形貌 | 第33-36页 |
| 2．3．2 (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3(x=0.35，0.50)薄膜的介电特性 | 第36-37页 |
| 2．4 (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3钛酸锶钡介电调谐特性 | 第37-39页 |
| 2．4．1 电场对(Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3薄膜的介电性能的影响与介电调谐率 | 第38-39页 |
| 2．4．2 不同方法制备的钛酸锶钡薄膜的介电调谐率结果比较 | 第39页 |
| 2．5 小结 | 第39-40页 |
| 第三章：金属氧化物电极对(Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3薄膜的介电调谐特性的影响 | 第40-54页 |
| 3．1 前言 | 第40-41页 |
| 3．2 CaRuO_3和LaNiO_3氧化物电极的制备 | 第41-43页 |
| 3．2．1 CaRuO_3和LaNiO_3氧化物电极的制备 | 第41-42页 |
| 3．2．2 BST35／CRO异质薄膜和BST50／LNO异质薄膜 | 第42-43页 |
| 3．2．3 BST35／CRO异质薄膜和BST50／LNO异质薄膜的性能测量 | 第43页 |
| 3．3 (Ba_(1-x)Sr_x)TiO_3／金属氧化物异质结薄膜结构与形貌 | 第43-48页 |
| 3．3．1 (Ba_(0.65)Sr_(0.35))TiO_3／CaRuO_3异质结薄膜的结构与形貌 | 第43-46页 |
| 3．3．2 (Ba_(0.50)Sr_(0.50))TiO_3／LaNiO_3异质结薄膜的结构与形貌 | 第46-48页 |
| 3．4 异质结薄膜的介电特性与介电调谐特性 | 第48-50页 |
| 3．4．1 Ba_(0.65)Sr_(0.35))TiO_3／CaRuO_3异质结薄膜的C-V特性 | 第48-49页 |
| 3．4．2 (Ba_(0.50)Sr_(0.50))TiO_3／LaNiO_3异质结薄膜的C-V特性 | 第49-50页 |
| 3．5 不同方法制备的异质结薄膜的介电调谐率结果比较 | 第50-53页 |
| 3．5．1 铁电、介电结果比较 | 第50-51页 |
| 3．5．1．1 铁电性能比较 | 第50-51页 |
| 3．5．1．2 介电与介电调谐性能比较 | 第51页 |
| 3．5．2 与其他文献结果比较 | 第51-52页 |
| 3．5．3 薄膜界面对结果的影响分析 | 第52-53页 |
| 3．6 小结 | 第53-54页 |
| 第四章：钛酸铅镧铁电薄膜的制备与介电调谐特性 | 第54-62页 |
| 4．1 引言 | 第54页 |
| 4．2 溶胶-凝胶法制备(Pb_(1-x)La_x)Ti_(1-x／4)O_3薄膜 | 第54-56页 |
| 4．2．1 (Pb_(1-x)La_x)Ti_(1-x／4)O_3前驱液的配置 | 第54-55页 |
| 4．2．2 (Pb_(0.72)La_(0.28))Ti_(0.93)O_3薄膜的制备 | 第55页 |
| 4．2．3 分析测试 | 第55-56页 |
| 4．3 (Pb_(0.72)La_(0.28))TiO_3薄膜的结构与性能 | 第56-61页 |
| 4．3．1 PLT28薄膜的结构与形貌 | 第56-59页 |
| 4．3．2 PLT28薄膜的铁电特性 | 第59-60页 |
| 4．3．3 PLT28薄膜的介电特性 | 第60-61页 |
| 4．4 小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-65页 |
| 参考文献 | 第65-76页 |
| 攻读硕士期间发表与接收录用的论文 | 第76-77页 |
| 独创性声明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
