| 绪论 | 第1-11页 |
| 第1 章 金属氧化物半导体气体传感器概论 | 第11-20页 |
| ·气体传感器的基本知识 | 第11-12页 |
| ·气体传感器的定义及应满足的基本条件 | 第11页 |
| ·气体传感器的分类 | 第11-12页 |
| ·金属氧化物半导体气敏传感器发展概述 | 第12-20页 |
| 第2 章 γ-Fe_20_3气体传感器生产工艺、结构与测试设备 | 第20-30页 |
| ·γ-Fe_20_3气体传感器制作工艺 | 第20-22页 |
| ·γ-Fe_20_3原料的选择 | 第20页 |
| ·旁热式γ-Fe_20_3 半导体陶瓷气体传感器生产工艺. | 第20-22页 |
| ·旁热式γ-Fe_20_3半导体陶瓷气体传感器结构 | 第22页 |
| ·元件外形图 | 第22页 |
| ·管脚功能 | 第22页 |
| ·测试系统 | 第22-26页 |
| ·测试系统原理框图 | 第22-23页 |
| ·下位机组成与工作原理 | 第23-26页 |
| ·γ-Fe_20_3气体传感器的特性参数 | 第26-30页 |
| ·γ-Fe_20_3气体传感器主要特性参数及意义 | 第26-28页 |
| ·测试条件与选取参数 | 第28-30页 |
| 第3 章 γ-Fe_20_3气体传感器特性试验与结果分析 | 第30-44页 |
| ·原料特性实验与结果分析 | 第30-32页 |
| ·试验方案 | 第30-31页 |
| ·试验数据 | 第31-32页 |
| ·实验结果分析 | 第32页 |
| ·γ-Al_2O_3结构助剂影响实验与结果分析 | 第32-37页 |
| ·实验方案 | 第32-33页 |
| ·γ-Al_20_3结构助剂影响实验数据 | 第33-35页 |
| ·γ-Al_20_3结构助剂对γ-Fe_20_3材料气敏特性的影响分析 | 第35-37页 |
| ·La_2O_3电子助剂影响实验与结果分析 | 第37-41页 |
| ·实验方案 | 第37页 |
| ·La_2O_3电子助剂影响实验数据 | 第37-40页 |
| ·实验结果分析 | 第40-41页 |
| ·烧结温度影响实验与结果分析 | 第41-44页 |
| ·实验方案 | 第41页 |
| ·烧结温度影响实验数据 | 第41-43页 |
| ·实试验结果分析 | 第43-44页 |
| 第4 章 γ-Fe_20_3气敏机理探讨与气体传感器的优化设计 | 第44-56页 |
| ·γ-Al_2O_3结构助剂的作用机理探讨 | 第44-45页 |
| ·试验结果 | 第44页 |
| ·γ-Al_2O_3 结构助剂的作用机理 | 第44-45页 |
| ·La_2O_3电子助剂的作用机理探讨 | 第45-46页 |
| ·实验结果 | 第45页 |
| ·La_2O_3 电子助剂的作用机理 | 第45-46页 |
| ·γ-Fe_20_3气敏机理 | 第46-47页 |
| ·γ-Fe_20_3气体传感器原料配方与工艺条件的的优化试验 | 第47-52页 |
| ·优化实验一 | 第47-48页 |
| ·优化实验二 | 第48-50页 |
| ·优化实验三 | 第50-51页 |
| ·优化实验四 | 第51-52页 |
| ·实用化γ-Fe_20_3气体传感器原料配方及生产工艺 | 第52-54页 |
| ·实用化γ-Fe_20_3 气体传感器原料配方 | 第52-54页 |
| ·实用化γ-Fe_20_3 气体传感器工艺与工艺条件 | 第54页 |
| ·实用化γ-Fe_20_3气体传感器批量生产与应用 | 第54-56页 |
| 第5 章 结束语 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-65页 |
| Abstract | 第65-68页 |
