| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| §1．1 课题研究的目的、意义及军事应用前景 | 第8-10页 |
| §1．2 国内外研究概况、水平和发展趋势 | 第10-11页 |
| §1．3 主要完成的工作 | 第11-12页 |
| 第二章 激光头精密伺服机构的结构分析 | 第12-23页 |
| §2．1 激光头的基本结构 | 第12-14页 |
| §2．2 激光头的机械结构设计 | 第14-16页 |
| §2．3 激光头执行机构的结构特点 | 第16-17页 |
| §2．4 激光头自动聚焦的原理 | 第17-19页 |
| §2．5 聚焦误差信号(FES)的测试与分析(开环) | 第19-21页 |
| §2．6 本章总结 | 第21-23页 |
| 第三章 传感器伺服机构的数学建模与控制系统设计 | 第23-49页 |
| §3．1 激光头执行机构的参数分析 | 第23-29页 |
| §3．1．1 力矩器的静态参数分析 | 第23-25页 |
| §3．1．2 力矩器的动态参数分析 | 第25-29页 |
| §3．2 伺服控制系统数学模型 | 第29-33页 |
| §3．2．1 数学模型的建立 | 第29-31页 |
| §3．2．2 系统分析 | 第31-33页 |
| §3．3 聚焦伺服控制系统设计 | 第33-37页 |
| §3．3．1 聚焦伺服控制系统的基本构成 | 第34页 |
| §3．3．2 聚焦伺服控制系统的补偿控制 | 第34-37页 |
| §3．4 影响传感器性能的因素分析 | 第37-44页 |
| §3．4．1 激光头中元件安装位置的误差分析 | 第37-42页 |
| §3．4．1．1 六象限感测器的误差分析 | 第37-40页 |
| §3．4．1．2 柱面镜的误差分析 | 第40-41页 |
| §3．4．1．3 半透半反镜的误差分析 | 第41-42页 |
| §3．4．1．4 物镜的误差分析 | 第42页 |
| §3．4．2 传感器的噪声分析 | 第42-43页 |
| §3．4．3 聚焦伺服控制系统的误差分析 | 第43-44页 |
| §3．5 闭环式激光微位移传感器的特点分析 | 第44-47页 |
| §3．5．1 闭环传感器的工作原理 | 第45-46页 |
| §3．5．2 闭环传感器的特点 | 第46-47页 |
| §3．6 本章总结 | 第47-49页 |
| 第四章 激光微位移传感器的实验系统设计 | 第49-69页 |
| §4．1 实验系统的结构设计 | 第49-54页 |
| §4．1．1 实验系统的硬件设计 | 第49-50页 |
| §4．1．2 芯片的功能介绍 | 第50-54页 |
| §4．1．2．1 CXA1782BQ简介 | 第50-52页 |
| §4．1．2．2 BA6395AFP简介 | 第52-53页 |
| §4．1．2．3 MAX551简介 | 第53页 |
| §4．1．2．4 ADSP2181简介 | 第53-54页 |
| §4．2 实验系统设计 | 第54-58页 |
| §4．2．1 “S”曲线法的原理介绍 | 第55-56页 |
| §4．2．2 自动搜寻法的原理介绍 | 第56-57页 |
| §4．2．3 实验系统的软件设计 | 第57-58页 |
| §4．3 系统实验测试与分析 | 第58-64页 |
| §4．3．1 “S”曲线法的测试与分析 | 第59-62页 |
| §4．3．1．1 线性度实验 | 第59-60页 |
| §4．3．1．2 重复性实验 | 第60-62页 |
| §4．3．2 自动搜寻法的测试与分析 | 第62-64页 |
| §4．3．2．1 线性度实验 | 第62-63页 |
| §4．3．2．2 重复性实验 | 第63-64页 |
| §4．4 传感器的标定及试件的测试 | 第64-68页 |
| §4．4．1 自动搜寻法测试标准量块 | 第64-68页 |
| §4．4．2 “S”曲线法测量单刻线样板 | 第68页 |
| §4．5 本章总结 | 第68-69页 |
| 第五章 结论与展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |