石英振梁式重力传感器的结构设计与性能分析
| 第一章 绪 论 | 第1-15页 |
| ·研究目的和意义 | 第9-10页 |
| ·国内外发展及研究现状 | 第10-14页 |
| ·重力测量仪器的类型 | 第10-11页 |
| ·重力仪的国内外发展及研究现状 | 第11-13页 |
| ·计算机辅助设计的发展概况 | 第13-14页 |
| ·课题来源与研究内容 | 第14-15页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| 第二章 石英振梁式重力传感器的结构工作原理 | 第15-29页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·石英谐振器 | 第15-26页 |
| ·石英晶体材料的选择 | 第16-17页 |
| ·石英晶体的弹性性质 | 第17-20页 |
| ·石英晶体的压电性质 | 第20-22页 |
| ·石英晶体的介电性质 | 第22-23页 |
| ·石英谐振器的振动原理 | 第23-26页 |
| ·石英振梁式重力传感器的基本工作原理 | 第26页 |
| ·石英振梁式重力传感器的数学模型 | 第26-28页 |
| ·小结 | 第28-29页 |
| 第三章 石英振梁式重力传感器的结构设计 | 第29-44页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·石英谐振器的设计 | 第29-36页 |
| ·石英谐振器振动模式的选择 | 第29页 |
| ·石英晶体切型和切角的选择 | 第29-31页 |
| ·石英音叉尺寸的确定 | 第31-32页 |
| ·电极设置 | 第32-35页 |
| ·弯曲振动石英谐振器的等效参数 | 第35-36页 |
| ·石英振梁式重力传感器的机械结构设计 | 第36-39页 |
| ·挠性支承的结构设计 | 第36-37页 |
| ·重力传感器机械结构设计 | 第37-39页 |
| ·有限元结构仿真 | 第39-41页 |
| ·音叉间距和固定块长度尺寸的改变对谐振频率的影响 | 第39-40页 |
| ·石英谐振器的整体结构 | 第40页 |
| ·整体结构仿真 | 第40-41页 |
| ·石英重力传感器的关键加工技术 | 第41-43页 |
| ·各向异性刻蚀原理 | 第41页 |
| ·石英重力传感器的关键加工技术 | 第41-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第四章 模态分析与性能分析 | 第44-56页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·模态分析 | 第44-46页 |
| ·有限元模型的建立 | 第44-45页 |
| ·模态的提取 | 第45-46页 |
| ·力频特性分析 | 第46-48页 |
| ·力频特性仿真结果 | 第46-48页 |
| ·谐振器应力分布 | 第48页 |
| ·性能参数分析 | 第48-53页 |
| ·特征参数 | 第48页 |
| ·标度因数 | 第48-51页 |
| ·分辨率 | 第51-53页 |
| ·误差分析 | 第53-55页 |
| ·线性化误差 | 第53-54页 |
| ·原理误差 | 第54-55页 |
| ·电路误差 | 第55页 |
| ·交叉加速度误差 | 第55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 致 谢 | 第58-59页 |
| 参 考 文 献 | 第59-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及获奖情况 | 第60页 |
