| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-6页 |
| 1 概述 | 第6-16页 |
| 1.1 简介 | 第6-8页 |
| 1.2 国内外研究概况 | 第8-10页 |
| 1.2.1 国外研究现状及发展趋势 | 第8-9页 |
| 1.2.2 国内研究发展状况 | 第9-10页 |
| 1.3 主要进展 | 第10-13页 |
| 1.3.1 设计理论方面的进展 | 第10-11页 |
| 1.3.2 制作工艺方面得进展 | 第11-12页 |
| 1.3.3 应用方面的进展 | 第12-13页 |
| 1.4 发展趋势 | 第13-14页 |
| 1.5 本文主要工作 | 第14-16页 |
| 2 二元光学的基础理论 | 第16-22页 |
| 2.1 引言 | 第16-17页 |
| 2.2 平面波的角谱 | 第17-19页 |
| 2.2.1 角谱及其物理解释 | 第17页 |
| 2.2.2 角谱的传播 | 第17-19页 |
| 2.2.3 衍射屏对角谱的效应 | 第19页 |
| 2.3 衍射效率 | 第19-22页 |
| 3 衍射光学元件的加工技术 | 第22-30页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 标准二元光学元件的加工技术 | 第22-24页 |
| 3.3 变灰度掩模版法 | 第24-25页 |
| 3.4 连续浮雕微光削元件直写技术 | 第25-30页 |
| 3.4.1 引言 | 第25页 |
| 3.4.2 激光束直写技术 | 第25-26页 |
| 3.4.3 电子束直写技术 | 第26-27页 |
| 3.4.4 金刚石车削加工直写技术 | 第27-28页 |
| 3.4.5 其它的直写技术 | 第28-30页 |
| 4 金刚石车削技术 | 第30-34页 |
| 4.1 引言 | 第30页 |
| 4.2 金刚石超精密切削加工的应用 | 第30-34页 |
| 4.2.1 金刚石车削加工工艺 | 第30-32页 |
| 4.2.2 可用金刚石刀具车削的材料 | 第32-34页 |
| 5 红外衍射光学元件的金刚石车削加工技术研究 | 第34-55页 |
| 5.1 影响金刚石超精密切削加工的因素 | 第34-38页 |
| 5.1.1 超精密加工设备 | 第34-35页 |
| 5.1.2 金刚石刀具 | 第35页 |
| 5.1.3 被加工材料 | 第35-36页 |
| 5.1.4 工艺过程 | 第36-38页 |
| 5.2 红外衍射光学元件的金刚石车削加工及测试分析 | 第38-55页 |
| 5.2.1 衍射光学元件的描述 | 第38-42页 |
| 5.2.2 工艺准备 | 第42-49页 |
| 5.2.3 金刚石车削衍射光学元件的测试及分析 | 第49-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |