AIP脉冲偏压电源及等离子体诊断系统的设计与应用研究
| 1 绪论 | 第1-11页 |
| 1．1 离子镀技术 | 第6页 |
| 1．2 电弧离子镀 | 第6-7页 |
| 1．3 脉冲偏压电弧离子镀 | 第7-8页 |
| 1．4 AIP等离子体的基本参量及其诊断方法 | 第8-10页 |
| 1．5 论文工作重点 | 第10-11页 |
| 2 AIP脉冲负偏压电源的设计 | 第11-25页 |
| 2．1 AIP的工作原理与设备 | 第11-12页 |
| 2．2 等离子体的负载特性 | 第12-13页 |
| 2．3 脉冲负偏压电源的设计 | 第13-24页 |
| 2．4 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 AIP等离子体诊断系统的设计 | 第25-45页 |
| 3．1 朗缪尔探针测量原理及特性曲线 | 第25-29页 |
| 3．2 探针测量系统概述 | 第29-30页 |
| 3．3 智能锯齿波扫频电源的设计 | 第30-39页 |
| 3．4 数据采集卡的设计 | 第39-44页 |
| 3．5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 脉冲偏压电源与等离子体诊断系统的应用 | 第45-52页 |
| 4．1 等离子体诊断系统的应用与诊断结果 | 第45-47页 |
| 4．2 脉冲偏压电源的应用 | 第47-50页 |
| 4．3 脉冲偏压下沉积TiN薄膜性能 | 第50-51页 |
| 4．4 本章小结 | 第51-52页 |
| 5 总结与展望 | 第52-53页 |
| 5．1 总结 | 第52页 |
| 5．2 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 论文工作期间发表的学术论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
