基于MEMS技术的PCR生物芯片的研究
| 0 前言 | 第1-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1．1 生物芯片 | 第8-9页 |
| 1．2 聚合酶链式反应（PCR） | 第9-10页 |
| 1．3 微结构PCR技术的发展 | 第10-12页 |
| 1．4 PCR与CE集成芯片 | 第12-13页 |
| 1．5 集成PCR芯片 | 第13-14页 |
| 1．6 微机电系统（MEMS）简介 | 第14-15页 |
| 1．7 本文的主要工作 | 第15-16页 |
| 2 工艺简介 | 第16-24页 |
| 2．1 制版工艺 | 第16-17页 |
| 2．2 光刻工艺 | 第17-18页 |
| 2．3 腐蚀工艺 | 第18-19页 |
| 2．4 氧化工艺 | 第19-21页 |
| 2．5 氮化硅薄膜的制作工艺 | 第21页 |
| 2．6 蒸发与溅射工艺 | 第21-22页 |
| 2．7 键合工艺 | 第22-24页 |
| 3 集成PCR芯片的结构设计 | 第24-29页 |
| 3．1 集成RCR芯片材料选择 | 第24-25页 |
| 3．2 集成PCR芯片的反应腔 | 第25页 |
| 3．3 集成PCR芯片的绝缘层 | 第25-26页 |
| 3．4 集成PCR芯片的加热器和温度传感器 | 第26-27页 |
| 3．5 集成PCR芯片的总体结构和版图设计 | 第27-29页 |
| 4 集成PCR芯片的工艺实现 | 第29-33页 |
| 4．1 基本工艺流程 | 第29-30页 |
| 4．2 工艺条件的选择 | 第30-33页 |
| 5 集成PCR芯片的温度控制 | 第33-41页 |
| 5．1 温度控制器硬件电路设计 | 第33-35页 |
| 5．2 温度控制流程 | 第35-36页 |
| 5．3 温度控制算法 | 第36-38页 |
| 5．4 温度监测与显示 | 第38-41页 |
| 6 结果和讨论 | 第41-52页 |
| 6．1 实验结果 | 第41-46页 |
| 6．2 性能分析与讨论 | 第46-50页 |
| 6．3 实验小结 | 第50-52页 |
| 7 展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
