基于双纵模双频激光干涉测量的位移传感器自动检定系统的研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·背景及意义 | 第12页 |
| ·研究现状 | 第12-18页 |
| ·本论文的主要工作及创新 | 第18-20页 |
| 第2章 双频激光干涉仪的原理及特性分析 | 第20-33页 |
| ·工作原理的理论分析 | 第20-24页 |
| ·外差干涉的特性 | 第24-31页 |
| ·双频激光干涉仪工作原理及特性对系统组成的要求 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第3章 双纵模热稳频技术的研究 | 第33-59页 |
| ·激光稳频技术概述 | 第33-46页 |
| ·双纵模热稳频技术 | 第46-57页 |
| ·小结 | 第57-59页 |
| 第4章 双纵模双频激光干涉仪的结构组成 | 第59-68页 |
| ·双纵模双频激光干涉仪系统的组成 | 第59-60页 |
| ·角锥镜光路系统 | 第60-61页 |
| ·准直和滤波系统 | 第61-66页 |
| ·延迟线移相系统 | 第66-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第5章 细分及可逆计数系统 | 第68-78页 |
| ·后续电路系统的设计要求 | 第68-69页 |
| ·计数系统总体框图的建立 | 第69-70页 |
| ·细分及可逆计数电路 | 第70-77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 第6章 精度分析及实验研究 | 第78-84页 |
| ·精度理论分析 | 第78-81页 |
| ·实验验证 | 第81-83页 |
| ·小结 | 第83-84页 |
| 第7章 差动位移传感器自动检定系统设计 | 第84-95页 |
| ·总体方案 | 第84页 |
| ·基准测量仪器(双纵模双频激光干涉仪)部分 | 第84-85页 |
| ·机电结构部分 | 第85-87页 |
| ·微机接口部分 | 第87-90页 |
| ·软件部分 | 第90-91页 |
| ·不确定度分析 | 第91-94页 |
| ·系统测定方法 | 第94页 |
| ·小结 | 第94-95页 |
| 第8章 结论 | 第95-99页 |
| ·双纵模双频激光干涉仪研究方面 | 第95-97页 |
| ·电感差动式位移传感器自动检定系统研究方面 | 第97页 |
| ·后续有待开展的研究工作 | 第97-98页 |
| ·研究工作的创新点 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-103页 |
| 作者在读其间科研成果简介 | 第103-104页 |
| 声明 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 附录 | 第106-110页 |
