基于双纵模双频激光干涉测量的位移传感器自动检定系统的研究
中文摘要 | 第1-5页 |
英文摘要 | 第5-12页 |
第1章 绪论 | 第12-20页 |
·背景及意义 | 第12页 |
·研究现状 | 第12-18页 |
·本论文的主要工作及创新 | 第18-20页 |
第2章 双频激光干涉仪的原理及特性分析 | 第20-33页 |
·工作原理的理论分析 | 第20-24页 |
·外差干涉的特性 | 第24-31页 |
·双频激光干涉仪工作原理及特性对系统组成的要求 | 第31-32页 |
·小结 | 第32-33页 |
第3章 双纵模热稳频技术的研究 | 第33-59页 |
·激光稳频技术概述 | 第33-46页 |
·双纵模热稳频技术 | 第46-57页 |
·小结 | 第57-59页 |
第4章 双纵模双频激光干涉仪的结构组成 | 第59-68页 |
·双纵模双频激光干涉仪系统的组成 | 第59-60页 |
·角锥镜光路系统 | 第60-61页 |
·准直和滤波系统 | 第61-66页 |
·延迟线移相系统 | 第66-67页 |
·小结 | 第67-68页 |
第5章 细分及可逆计数系统 | 第68-78页 |
·后续电路系统的设计要求 | 第68-69页 |
·计数系统总体框图的建立 | 第69-70页 |
·细分及可逆计数电路 | 第70-77页 |
·小结 | 第77-78页 |
第6章 精度分析及实验研究 | 第78-84页 |
·精度理论分析 | 第78-81页 |
·实验验证 | 第81-83页 |
·小结 | 第83-84页 |
第7章 差动位移传感器自动检定系统设计 | 第84-95页 |
·总体方案 | 第84页 |
·基准测量仪器(双纵模双频激光干涉仪)部分 | 第84-85页 |
·机电结构部分 | 第85-87页 |
·微机接口部分 | 第87-90页 |
·软件部分 | 第90-91页 |
·不确定度分析 | 第91-94页 |
·系统测定方法 | 第94页 |
·小结 | 第94-95页 |
第8章 结论 | 第95-99页 |
·双纵模双频激光干涉仪研究方面 | 第95-97页 |
·电感差动式位移传感器自动检定系统研究方面 | 第97页 |
·后续有待开展的研究工作 | 第97-98页 |
·研究工作的创新点 | 第98-99页 |
参考文献 | 第99-103页 |
作者在读其间科研成果简介 | 第103-104页 |
声明 | 第104-105页 |
致谢 | 第105-106页 |
附录 | 第106-110页 |