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基于双纵模双频激光干涉测量的位移传感器自动检定系统的研究

中文摘要第1-5页
英文摘要第5-12页
第1章 绪论第12-20页
   ·背景及意义第12页
   ·研究现状第12-18页
   ·本论文的主要工作及创新第18-20页
第2章 双频激光干涉仪的原理及特性分析第20-33页
   ·工作原理的理论分析第20-24页
   ·外差干涉的特性第24-31页
   ·双频激光干涉仪工作原理及特性对系统组成的要求第31-32页
   ·小结第32-33页
第3章 双纵模热稳频技术的研究第33-59页
   ·激光稳频技术概述第33-46页
   ·双纵模热稳频技术第46-57页
   ·小结第57-59页
第4章 双纵模双频激光干涉仪的结构组成第59-68页
   ·双纵模双频激光干涉仪系统的组成第59-60页
   ·角锥镜光路系统第60-61页
   ·准直和滤波系统第61-66页
   ·延迟线移相系统第66-67页
   ·小结第67-68页
第5章 细分及可逆计数系统第68-78页
   ·后续电路系统的设计要求第68-69页
   ·计数系统总体框图的建立第69-70页
   ·细分及可逆计数电路第70-77页
   ·小结第77-78页
第6章 精度分析及实验研究第78-84页
   ·精度理论分析第78-81页
   ·实验验证第81-83页
   ·小结第83-84页
第7章 差动位移传感器自动检定系统设计第84-95页
   ·总体方案第84页
   ·基准测量仪器(双纵模双频激光干涉仪)部分第84-85页
   ·机电结构部分第85-87页
   ·微机接口部分第87-90页
   ·软件部分第90-91页
   ·不确定度分析第91-94页
   ·系统测定方法第94页
   ·小结第94-95页
第8章 结论第95-99页
   ·双纵模双频激光干涉仪研究方面第95-97页
   ·电感差动式位移传感器自动检定系统研究方面第97页
   ·后续有待开展的研究工作第97-98页
   ·研究工作的创新点第98-99页
参考文献第99-103页
作者在读其间科研成果简介第103-104页
声明第104-105页
致谢第105-106页
附录第106-110页

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