低量程电容式压力传感器及相关技术研究
| 中文摘要 | 第1-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-22页 |
| 1．1 微电子机械系统 | 第9-14页 |
| 1．1．1 MEMS器件及应用 | 第10-11页 |
| 1．1．2 MEMS常用材料 | 第11-12页 |
| 1．1．3 MEMS加工技术 | 第12-14页 |
| 1．2 压力传感器 | 第14-21页 |
| 1．2．1 传感器简介 | 第14-15页 |
| 1．2．2 压力传感器 | 第15-21页 |
| 1．2．2．1 传统的压力传感器 | 第16-17页 |
| 1．2．2．2 半导体压力传感器 | 第17-21页 |
| 1．2．2．3 光纤压力传感器 | 第21页 |
| 1．3 论文内容 | 第21-22页 |
| 第二章 薄膜结构分析和模拟 | 第22-38页 |
| 引言 | 第22页 |
| 2．1 平膜 | 第22-30页 |
| 2．1．1 小挠度模型 | 第22-26页 |
| 2．1．1．1 圆形薄膜 | 第23-24页 |
| 2．1．1．2 方形薄膜 | 第24-26页 |
| 2．1．2 大挠度模型 | 第26-30页 |
| 2．1．2．1 圆形薄膜 | 第27页 |
| 2．1．2．2 方形薄膜 | 第27-30页 |
| 2．2 带岛薄膜 | 第30-35页 |
| 2．2．1 带岛圆膜 | 第32-34页 |
| 2．2．2 带岛方膜 | 第34-35页 |
| 2．3 波纹膜 | 第35-37页 |
| 2．4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 超薄薄膜的制作 | 第38-50页 |
| 引言 | 第38页 |
| 3．1 浓硼扩散原理 | 第38-40页 |
| 3．2 KOH腐蚀系统 | 第40-42页 |
| 3．3 Si（P++）薄膜制作 | 第42-43页 |
| 3．4 复合薄膜 | 第43-49页 |
| 3．4．1 复合薄膜结构应力理论分析 | 第44页 |
| 3．4．2 复合薄膜制作及结果讨论 | 第44-49页 |
| 3．5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 低量程差压压力传感器 | 第50-65页 |
| 引言 | 第50页 |
| 4．1 单电容结构微差压传感器原理 | 第50-54页 |
| 4．1．1 单电容结构差压传感器 | 第50-51页 |
| 4．1．2 电容检测基本原理 | 第51-54页 |
| 4．2 单电容微差压传感器的制作 | 第54-60页 |
| 4．2．1 掩模版 | 第54-55页 |
| 4．2．2 传感器制作流程 | 第55-58页 |
| 4．2．3 电极制作 | 第58页 |
| 4．2．4 键合 | 第58-59页 |
| 4．2．5 封装 | 第59-60页 |
| 4．3 器件测试 | 第60-63页 |
| 4．4 结果讨论 | 第63-64页 |
| 4．5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 力平衡微差压压力传感器 | 第65-77页 |
| 引言 | 第65页 |
| 5．1 力平衡微差压压力传感器结构及其原理 | 第65-70页 |
| 5．1．1 力平衡微差压压力传感器原理 | 第65-68页 |
| 5．1．2 力平衡微差压压力传感器结构 | 第68-70页 |
| 5．2 力平衡微差压压力传感器的制作 | 第70-76页 |
| 5．2．1 光刻掩模版 | 第70-72页 |
| 5．2．2 带岛薄膜和导电岛的制作流程 | 第72-76页 |
| 5．3 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 附录一 | 第82-84页 |
| 附录二 | 第84-85页 |
| 附录三 | 第85-87页 |
| 附录四 | 第87-93页 |
| 作者简介 | 第93页 |
| 攻读硕士期间发表文章 | 第93-94页 |
| 致谢 | 第94页 |
