| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| §1.1 功率MOSFET的发展状况 | 第7-8页 |
| §1.2 VDMOS的研究背景 | 第8-9页 |
| §1.3 VDMOS的特点 | 第9-11页 |
| §1.4 VDMOS的应用 | 第11页 |
| §1.5 本论文的工作安排 | 第11-12页 |
| 第二章 功率MOSFET的工作原理 | 第12-17页 |
| §2.1 简单介绍MOSFET的工作原理 | 第12-13页 |
| §2.2 功率MOSFET的工作原理 | 第13-17页 |
| 第三章 VDMOS的设计 | 第17-30页 |
| §3.1 VDMOS的结构设计 | 第17-23页 |
| §3.2 VDMOS参数的设计 | 第23-27页 |
| §3.3 VDMOS主要工艺的确定 | 第27-30页 |
| 第四章 模拟VDMOS过程 | 第30-51页 |
| §4.1 工艺模拟软件知识 | 第30页 |
| §4.2 VDMOS设计 | 第30-31页 |
| §4.3 ATHENA模拟VDMOS具体过程 | 第31-43页 |
| §4.4 ATLAS器件模拟 | 第43-47页 |
| §4.5 实际生产流片 | 第47-51页 |
| 总结 | 第51-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考资料 | 第54页 |