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电化学原子层沉积法(EC-ALD)制备功能性纳米半导体薄膜及其应用研究

摘要第1-8页
ABSTRACT第8-15页
第一章 绪论第15-62页
   ·前言第15-16页
   ·外延与电沉积第16-22页
     ·外延的种类第16-20页
       ·分子束外延(MBE)第16-17页
       ·金属有机化学气相沉积(MOCVD)第17-18页
       ·化学束外延(CBE)第18-19页
       ·原子层外延(ALE)第19-20页
     ·外延方法的特点第20页
     ·电沉积第20-22页
       ·电沉积的特点第20-21页
       ·共沉积(Codeposition)第21页
       ·沉淀法(Precipitation)第21页
       ·两步法(Two-stage methods)第21-22页
   ·电化学原子层沉积法(EC-ALD)第22-26页
     ·欠电位沉积(UPD)第22-24页
     ·UPD的特征第24页
     ·EC-ALD技术简介第24-25页
     ·EC-ALD的特点第25-26页
   ·EC-ALD循环程序的构成要素第26-33页
     ·基底第26-27页
     ·前驱体第27-29页
       ·电位-pH图第27-28页
       ·还原UPD和氧化UPD第28-29页
     ·溶液(反应物、电解质、pH值、添加剂等)第29-31页
       ·反应物第30页
       ·电解质第30页
       ·pH值第30页
       ·添加剂第30-31页
     ·清洗第31页
     ·电位设置第31-32页
     ·循环时间第32-33页
   ·EC-ALD制备功能薄膜的检测与光谱分析第33-39页
     ·基本表征手段第33-38页
       ·X-射线衍射(XRD)第33-34页
       ·X射线光电子能谱(XPS)第34-35页
       ·俄歇电子能谱(AES)第35-36页
       ·电子探针微分析(EPMA)第36-37页
       ·能量色散X射线荧光光谱分析(EDX)第37-38页
       ·电化学检测方法第38页
       ·表面形貌检测手段第38页
     ·光电化学表征第38-39页
       ·计算能带第38-39页
       ·开路电位研究第39页
   ·EC-ALD的研究现状以及在新材料中的应用进展第39-45页
     ·研究现状第39-41页
     ·基底的改进第41-43页
     ·方法的改良第43页
       ·开路反应和EC-ALD结合第43页
       ·无电沉积和EC-ALD结合第43页
     ·功能的拓展第43-45页
   ·本论文的选题思路和研究目的第45-47页
   ·本章小结第47-49页
 参考文献第49-62页
第二章 利用EC-ALD在Au基底上沉积ZnSe的优化研究及表征第62-78页
   ·前言第62-63页
   ·实验部分第63-64页
   ·结果与讨论第64-73页
     ·Se原子层的形成第64-66页
     ·Zn原子层的形成第66页
     ·ZnSe的形成机理第66-69页
     ·EC-ALE循环的优化第69-70页
     ·ZnSe薄膜的表征第70-73页
   ·本章小结第73页
 致谢第73-74页
 参考文献第74-78页
第三章 利用EC-ALD技术在Au基底上制备Cu_2Se纳米薄膜第78-92页
   ·前言第78-79页
   ·实验部分第79页
   ·结果与讨论第79-84页
     ·Se在Au上的电化学特性第79-80页
     ·Cu在Au-Se表面上的电化学特性第80-81页
     ·Cu_2Se的沉积和表征第81-84页
     ·Cu_2Se薄膜的表征第84页
   ·结论第84-85页
 致谢第85-86页
 参考文献第86-92页
第四章 利用EC-ALD在ITO导电玻璃上制备CuTe和Cu_2Te纳米薄膜及表征第92-101页
   ·前言第92页
   ·实验部分第92-93页
   ·结果与讨论第93-98页
     ·薄膜的沉积制备第93-96页
       ·CuTe薄膜的沉积制备第93-95页
       ·Cu_2Te薄膜的沉积第95-96页
     ·薄膜的表征第96-98页
       ·X射线衍射研究第96-97页
       ·SEM观测结果第97-98页
       ·光电性质的检测第98页
   ·本章小结第98页
 致谢第98-99页
 参考文献第99-101页
第五章 通过EC-ALD法在Ag基底上制备四元Cu_2ZnSnS_4薄膜及其表征应用第101-114页
   ·前言第101-102页
   ·实验部分第102页
   ·结果与讨论第102-110页
     ·EC-ALD的沉积程序第102-105页
     ·组成测定第105-107页
     ·形貌观测第107-108页
     ·光电化学表征第108-110页
   ·本章小结第110页
 致谢第110-111页
 参考文献第111-114页
第六章 通过无电沉积和EC-ALD相结合的方法在P-Si上制备Cu_2Se薄膜第114-123页
   ·前言第114页
   ·实验部分第114-115页
   ·结果与讨论第115-120页
     ·膜的制备第115-117页
     ·膜的表征第117-120页
       ·XRD分析第117-118页
       ·SEM观测第118页
       ·光电性质第118-120页
   ·本章小结第120页
 致谢第120-121页
 参考文献第121-123页
第七章 Pt纳米粒子在碳纳米管复合的聚酰亚胺材料上的电沉积及其电催化应用第123-131页
   ·前言第123页
   ·实验部分第123-126页
     ·化学药品第123页
     ·实验装置第123-124页
     ·电极的制备第124-126页
   ·结果与讨论第126-128页
     ·Pt/PI/CNTs的表征第126-127页
     ·Pt/PI/CNTs的电催化性能第127-128页
   ·本章小结第128页
 致谢第128-129页
 参考文献第129-131页
致谢第131-132页
附录第132-133页

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