| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 金刚石多层膜结构声表面波器件简介 | 第10-11页 |
| 1.3 金刚石多层膜结构声表面波器件的研究进展 | 第11-13页 |
| 1.4 本论文的主要工作及创新点 | 第13-15页 |
| 第二章 SAW器件的有限元分析 | 第15-27页 |
| 2.1 有限元法仿真的简介 | 第15页 |
| 2.2 基于COMSOL对SAW器件的仿真 | 第15-20页 |
| 2.2.1 SAW器件的仿真方法 | 第15-16页 |
| 2.2.2 SAW器件的仿真示例 | 第16-20页 |
| 2.3 有限元法分析SAW传播特性参数 | 第20-27页 |
| 2.3.1 SAW器件COM方程的微分形式及其在均匀周期栅中的解 | 第20-24页 |
| 2.3.2 有限元法计算SAW传播特性参数 | 第24-27页 |
| 第三章 ZnO/金刚石多层膜结构SAW传播特性研究 | 第27-39页 |
| 3.1 ZnO/金刚石结构中Rayleigh和 Love波激励方式的研究 | 第27-30页 |
| 3.2 ZnO/金刚石结构中Rayleigh波的研究 | 第30-35页 |
| 3.2.1 (002)ZnO/金刚石结构Rayleigh波传播特性参数分析 | 第30-32页 |
| 3.2.2 (100)ZnO/金刚石结构Rayleigh波传播特性参数分析 | 第32-35页 |
| 3.3 ZnO/金刚石结构中Love波的研究 | 第35-39页 |
| 3.3.1 ZnO/金刚石结构Love波传播特性参数分析 | 第35-37页 |
| 3.3.2 SiO_2补偿层对Love波传播特性的影响 | 第37-39页 |
| 第四章 ((100)AlN/(100)ZnO)_N/金刚石多层膜结构SAW传播特性研究 | 第39-49页 |
| 4.1 (100)AlN/(100)ZnO/金刚石结构SAW传播特性参数分析 | 第39-43页 |
| 4.2 电极位置对(100)AlN/(100)ZnO/金刚石结构SAW传播特性的影响 | 第43-45页 |
| 4.3 ((100)AlN/(100)ZnO)_2/金刚石结构SAW传播特性参数分析 | 第45-47页 |
| 4.4 电极位置对((100)AlN/(100)ZnO)_2/金刚石结构SAW传播特性的影响 | 第47-49页 |
| 第五章 ((100)AlN/(100)ZnO)_2/金刚石多层膜结构SAW器件的设计与仿真 | 第49-57页 |
| 5.1 电极厚度对((100)AlN/(100)ZnO)_2/金刚石结构SAW传播特性的影响 | 第49-50页 |
| 5.2 ((100)AlN/(100)ZnO)_2/金刚石结构SAW单端谐振器的仿真 | 第50-53页 |
| 5.3 ((100)AlN/(100)ZnO)_2/金刚石结构SAW延迟线的仿真 | 第53-57页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 6.2 未来展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录A | 第63-66页 |
| 附录B | 第66-67页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
