| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-27页 |
| ·KDP晶体性质及应用 | 第10-16页 |
| ·脆性材料切割技术 | 第16-18页 |
| ·内圆切割 | 第16页 |
| ·线锯切割 | 第16-18页 |
| ·KDP晶体精密加工研究现状 | 第18-25页 |
| ·超精密磨削 | 第18-20页 |
| ·单点金刚石车削(SPDT) | 第20页 |
| ·单点金刚石飞切 | 第20-22页 |
| ·超精密抛光 | 第22-24页 |
| ·磁流变抛光 | 第24-25页 |
| ·课题来源,研究目的与意义 | 第25页 |
| ·论文主要研究内容 | 第25-27页 |
| 2 KDP晶体金刚石线锯切割方法的研究 | 第27-55页 |
| ·线锯切割试验条件及特性分析 | 第27-30页 |
| ·基于往复式线锯切割机床的切割试验研究 | 第30-33页 |
| ·切割参数对表面粗糙度影响试验 | 第30-32页 |
| ·切割参数对平面精度影响试验 | 第32-33页 |
| ·基于连续式线锯切割机床的切割试验研究 | 第33-37页 |
| ·切割参数对表面粗糙度影响试验 | 第33-35页 |
| ·切割参数对平面精度影响试验 | 第35-37页 |
| ·切割参数对切割效率的影响 | 第37页 |
| ·金刚石线锯低应力切割材料损伤机理研究 | 第37-46页 |
| ·往复式线锯切割面表面形貌及材料去除机理分析 | 第37-40页 |
| ·往复式线锯切割工件亚表面损伤检测 | 第40-43页 |
| ·连续式线锯切割面表面形貌及材料去除机理分析 | 第43-45页 |
| ·连续式线锯切割工件亚表面损伤检测 | 第45-46页 |
| ·金刚石线锯精密切割实时纠偏系统的设计 | 第46-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 3 KDP晶体划痕/单颗粒磨削试验及材料去除机理研究 | 第55-76页 |
| ·KDP晶体单点划痕试验 | 第56-62页 |
| ·试验条件 | 第56页 |
| ·划痕表面形貌 | 第56-58页 |
| ·划痕亚表面损伤形式及损伤深度 | 第58-62页 |
| ·基于卧式矩台平面磨床的单颗粒磨削试验 | 第62-67页 |
| ·试验条件 | 第62-64页 |
| ·磨粒切深对表面裂纹扩展的影响 | 第64-66页 |
| ·矩台平面磨床单颗粒磨削磨屑形态 | 第66-67页 |
| ·基于飞切原理的单颗粒磨削试验 | 第67-75页 |
| ·飞切原理单颗粒磨削磨痕形态 | 第68-70页 |
| ·不同磨削速度对磨屑形态的影响 | 第70-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 4 KDP晶体精密磨削工艺试验 | 第76-123页 |
| ·卧式周边精密磨削试验 | 第76-98页 |
| ·试验条件 | 第76-78页 |
| ·磨削力影响试验 | 第78-82页 |
| ·试验条件对磨削温升的影响 | 第82-87页 |
| ·磨削温升场仿真计算 | 第87-95页 |
| ·KDP晶体磨削参数对表面形貌的影响 | 第95-98页 |
| ·工件自旋转立式端面精密磨削试验 | 第98-108页 |
| ·工件自旋转磨削原理与试验条件 | 第99-103页 |
| ·工艺参数对表面质量和消耗功率的影响分析 | 第103-108页 |
| ·KDP晶体旋转超声磨削研究 | 第108-121页 |
| ·试验条件及试验设计 | 第108-110页 |
| ·超声振动对磨削力与崩边的影响 | 第110-111页 |
| ·磨削参数对粗糙度(Ra)的影响 | 第111-117页 |
| ·旋转超声磨削表面形貌及亚表面损伤分析 | 第117-121页 |
| ·本章小结 | 第121-123页 |
| 5 KDP晶体磨削表面形貌及亚表面损伤研究 | 第123-141页 |
| ·卧式周边精密磨削表面形貌及亚表面损伤 | 第123-134页 |
| ·磨削表层形貌分析 | 第123-129页 |
| ·磨削亚表面损伤检测及分析 | 第129-134页 |
| ·工件自旋转立式端面精密磨削表面形貌及亚表面损伤 | 第134-140页 |
| ·磨削表面形貌分析 | 第134-136页 |
| ·磨削亚表面损伤检测与分析 | 第136-140页 |
| ·本章小结 | 第140-141页 |
| 结论 | 第141-144页 |
| 参考文献 | 第144-149页 |
| 创新点摘要 | 第149-150页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第150-151页 |
| 致谢 | 第151-152页 |
| 作者简介 | 第152-154页 |