β-Ga2O3基日盲紫外探测器特性研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号对照表 | 第12-14页 |
| 缩略语对照表 | 第14-17页 |
| 第一章 绪论 | 第17-29页 |
| 1.1 引言 | 第17-18页 |
| 1.2 氧化镓的结构和性质 | 第18-20页 |
| 1.3 氧化镓光电探测器的应用与国内外研究现状 | 第20-27页 |
| 1.3.1 氧化镓光电探测器的应用 | 第20-21页 |
| 1.3.2 国内外研究现状 | 第21-27页 |
| 1.4 研究内容与结构安排 | 第27-29页 |
| 第二章 实验方法及测试手段 | 第29-39页 |
| 2.1 脉冲激光沉积系统 | 第29-31页 |
| 2.2 薄膜表征方法 | 第31-34页 |
| 2.2.1 X射线衍射仪 | 第31页 |
| 2.2.2 原子力显微镜 | 第31-32页 |
| 2.2.3 X射线光电子能谱分析 | 第32-33页 |
| 2.2.4 紫外-可见分光光度计 | 第33页 |
| 2.2.5 透射电子显微镜 | 第33-34页 |
| 2.3 紫外探测器原理 | 第34-36页 |
| 2.4 紫外探测器测试方法 | 第36-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 衬底氧化镓与蓝宝石外延氧化镓探测器的比较 | 第39-51页 |
| 3.1 薄膜生长与器件制备 | 第39-40页 |
| 3.2 氧化镓的材料表征和探测器的光电特性 | 第40-50页 |
| 3.2.1 氧化镓薄膜的材料特性 | 第41-43页 |
| 3.2.2 氧化镓探测器的光电特性 | 第43-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 氧气分压对氧化镓紫外探测器的影响 | 第51-63页 |
| 4.1 薄膜生长与器件制备 | 第51-52页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第52-60页 |
| 4.2.1 氧化镓材料的表征 | 第52-55页 |
| 4.2.2 氧化镓探测器的光电特性 | 第55-60页 |
| 4.3 本章小结 | 第60-63页 |
| 第五章 总结和展望 | 第63-65页 |
| 5.1 全文总结 | 第63-64页 |
| 5.2 展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 作者简介 | 第73-75页 |
