基于DSP的晶棒粘料定向仪控制系统设计与开发
摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第11-19页 |
1.1 研发背景与意义 | 第11-13页 |
1.2 研究与发展概况 | 第13-15页 |
1.2.1 晶棒定向仪设备研发概况 | 第13-14页 |
1.2.2 交流伺服系统的发展概况 | 第14-15页 |
1.3 交流伺服系统的控制方法 | 第15-16页 |
1.3.1 伺服控制方法研究概况 | 第15-16页 |
1.3.2 滑模变结构控制方法 | 第16页 |
1.4 课题主要的研究内容 | 第16-19页 |
第2章 晶棒粘料定向仪控制系统总体设计 | 第19-29页 |
2.1 系统总体功能与要求 | 第19-20页 |
2.1.1 系统总体功能 | 第19-20页 |
2.1.2 系统技术指标 | 第20页 |
2.2 系统硬件总体结构设计 | 第20-22页 |
2.3 系统软件总体结构设计 | 第22-23页 |
2.4 系统控制过程及控制难点 | 第23-25页 |
2.4.1 系统控制过程设计 | 第23-25页 |
2.4.2 系统研发难点 | 第25页 |
2.5 系统设计软件介绍 | 第25-27页 |
2.5.1 系统硬件电路开发软件介绍 | 第25-26页 |
2.5.2 DSP设计软件CCS | 第26页 |
2.5.3 触摸屏编程软件 | 第26-27页 |
2.6 本章小结 | 第27-29页 |
第3章 晶棒粘料定向仪硬件设计 | 第29-43页 |
3.1 系统硬件总体结构 | 第29-30页 |
3.2 DSP核心控制板 | 第30-34页 |
3.2.1 DSP28335芯片介绍 | 第30-31页 |
3.2.2 电源电路设计 | 第31-32页 |
3.2.3 时钟电路设计 | 第32页 |
3.2.4 复位电路设计 | 第32-33页 |
3.2.5 JTAG接口电路设计 | 第33页 |
3.2.6 串口接口电路设计 | 第33-34页 |
3.3 系统功率及驱动电路设计 | 第34-38页 |
3.3.1 整流滤波电路 | 第34-35页 |
3.3.2 IPM逆变电路 | 第35-36页 |
3.3.3 供电电路 | 第36-37页 |
3.3.4 PWM隔离电路 | 第37页 |
3.3.5 步进电机驱动电路 | 第37-38页 |
3.4 检测电路设计 | 第38-40页 |
3.4.1 电流与电压检测电路 | 第38-39页 |
3.4.2 速度与位置检测电路 | 第39-40页 |
3.5 系统保护电路 | 第40-41页 |
3.6 本章小结 | 第41-43页 |
第4章 晶棒粘料定向仪软件设计 | 第43-55页 |
4.1 DSP系统软件总体结构 | 第43页 |
4.2 软件程序设计 | 第43-49页 |
4.2.1 系统主程序 | 第43-44页 |
4.2.2 中断程序 | 第44-45页 |
4.2.3 AD采样程序 | 第45-46页 |
4.2.4 转子初始位置程序 | 第46-47页 |
4.2.5 位置、转速计算程序 | 第47-48页 |
4.2.6 SVPWM程序 | 第48页 |
4.2.7 系统故障处理程序 | 第48-49页 |
4.2.8 数字PID处理程序 | 第49页 |
4.3 晶棒粘料定向仪系统软件功能设计 | 第49-54页 |
4.3.1 DSP功能软件设计 | 第49-51页 |
4.3.2 上位机触摸屏软件设计 | 第51-54页 |
4.4 本章小结 | 第54-55页 |
第5章 晶棒粘料定向仪控制系统算法研究 | 第55-83页 |
5.1 交流伺服系统模型与矢量控制 | 第55-64页 |
5.1.1 PMSM的数学模型 | 第55-58页 |
5.1.2 PMSM矢量控制策略 | 第58-63页 |
5.1.3 PMSM矢量控制基本结构 | 第63-64页 |
5.2 滑模变结构控制原理与设计方法 | 第64-67页 |
5.2.1 滑模变结构控制原理 | 第64-65页 |
5.2.2 滑模变结构控制的基本设计方法 | 第65-66页 |
5.2.3 滑模变结构控制的抖振问题 | 第66-67页 |
5.3 全闭环伺服系统控制器设计与仿真 | 第67-81页 |
5.3.1 电流环控制器设计与仿真 | 第68-72页 |
5.3.2 速度环PID控制器设计与仿真 | 第72-75页 |
5.3.3 速度环滑模变结构控制器设计 | 第75-78页 |
5.3.4 速度环滑模变结构仿真 | 第78-79页 |
5.3.5 位置环控制器设计与仿真 | 第79-81页 |
5.4 本章小结 | 第81-83页 |
第6章 结论与展望 | 第83-85页 |
参考文献 | 第85-89页 |
致谢 | 第89页 |