| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 氮化铜薄膜的研究现状 | 第9-12页 |
| 1.1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.1.2 氮化铜薄膜的制备方法研究 | 第10-11页 |
| 1.1.3 氮化铜薄膜的性能影响研究 | 第11-12页 |
| 1.2 氮化铜薄膜及掺杂应用研究 | 第12-16页 |
| 1.2.1 氮化铜薄膜的应用研究进展 | 第12-15页 |
| 1.2.2 氮化铜掺杂薄膜的应用研究前景 | 第15-16页 |
| 1.3 本章小结 | 第16-18页 |
| 第二章 氮化铜薄膜的制备与表征 | 第18-24页 |
| 2.1 磁控溅射制备氮化铜薄膜的工艺 | 第18-20页 |
| 2.1.1 磁控溅射仪器基本原理 | 第18-19页 |
| 2.1.2 磁控溅射制备氮化铜及其掺杂制备基本流程 | 第19-20页 |
| 2.2 氮化铜薄膜测试表征方法 | 第20-23页 |
| 2.2.1 X射线衍射仪 | 第20-21页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜 | 第21页 |
| 2.2.3 X射线光电子能谱仪 | 第21-22页 |
| 2.2.4 紫外可见光光度计 | 第22页 |
| 2.2.5 电化学工作站 | 第22页 |
| 2.2.6 电池测试系统 | 第22-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 金属Sc掺杂氮化铜薄膜研究 | 第24-32页 |
| 3.1 金属Sc掺杂氮化铜薄膜的制备方法 | 第24-25页 |
| 3.1.1 金属Sc掺杂氮化铜薄膜的制备 | 第24页 |
| 3.1.2 金属Sc掺杂氮化铜薄膜的表征 | 第24-25页 |
| 3.2 金属Sc掺杂氮化铜薄膜性能研究 | 第25-31页 |
| 3.2.1 薄膜的晶体结构 | 第25-26页 |
| 3.2.2 薄膜的成分形貌 | 第26-28页 |
| 3.2.3 薄膜的热稳定性 | 第28-29页 |
| 3.2.4 薄膜的光电性质 | 第29-31页 |
| 3.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 Mo掺杂氮化铜薄膜及可见光探测器研究 | 第32-41页 |
| 4.1 氮化铜薄膜可见光探测器的研究前景 | 第32-33页 |
| 4.2 钼掺杂氮化铜薄膜可见光探测器的制备 | 第33-34页 |
| 4.3 钼掺杂氮化铜薄膜性能测试 | 第34-39页 |
| 4.3.1 薄膜的晶体结构 | 第34-35页 |
| 4.3.2 薄膜的表面形貌 | 第35-36页 |
| 4.3.3 薄膜的热稳定性 | 第36-38页 |
| 4.3.4 薄膜的光电性能 | 第38-39页 |
| 4.4 钼掺杂氮化铜薄膜可见光探测器结果讨论 | 第39页 |
| 4.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第五章 氮化铜和锰掺杂氮化铜薄膜锂电池负极材料研究 | 第41-48页 |
| 5.1 氮化铜薄膜锂电池负极材料研究意义 | 第41-42页 |
| 5.2 氮化铜薄膜负极材料锂电池结构与制备 | 第42-43页 |
| 5.2.1 电极的制备 | 第42页 |
| 5.2.2 电池的组装 | 第42页 |
| 5.2.3 材料的表征和性能测试 | 第42-43页 |
| 5.3 氮化铜和锰掺杂氮化铜薄膜的性能分析 | 第43-45页 |
| 5.3.1 薄膜的晶体结构 | 第43页 |
| 5.3.2 薄膜的表面形貌 | 第43-44页 |
| 5.3.3 薄膜的化学成分 | 第44-45页 |
| 5.4 基于氮化铜薄膜负极材料锂电池结果讨论 | 第45-47页 |
| 5.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第六章 总结与展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第55-56页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第56-57页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |