| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-30页 |
| 1.1 引言 | 第13-14页 |
| 1.2 无源无线传感器的分类 | 第14-18页 |
| 1.2.1 SAW无源无线传感器 | 第15-16页 |
| 1.2.2 MA无源无线传感器 | 第16-17页 |
| 1.2.3 LC无源无线传感器 | 第17-18页 |
| 1.3 LC无源无线传感器的研究进展 | 第18-24页 |
| 1.3.1 LC无源无线压力传感器 | 第18-21页 |
| 1.3.2 LC无源无线温度传感器 | 第21-22页 |
| 1.3.3 LC无源无线多参数集成传感器 | 第22-24页 |
| 1.4 LTCC低温共烧陶瓷技术 | 第24-28页 |
| 1.4.1 LTCC技术概述 | 第24-25页 |
| 1.4.2 LTCC基板材料在传感器中的应用 | 第25-28页 |
| 1.5 立体依据与研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 LC无源无线传感器的设计方法与制备工艺 | 第30-47页 |
| 2.1 LC无源无线传感器设计 | 第30-38页 |
| 2.1.1 LC无源无线传感系统的基本原理 | 第30-33页 |
| 2.1.2 LC无源无线传感器敏感元结构设计 | 第33-38页 |
| 2.2 LC无源无线传感器制备工艺 | 第38-46页 |
| 2.2.1 LTCC无源无线压力传感器制作工艺流程简介 | 第38-42页 |
| 2.2.2 LTCC无源无线压力传感器关键制备工艺 | 第42-46页 |
| 2.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第3章 LTCC无源无线压力传感器研究 | 第47-61页 |
| 3.1 引言 | 第47页 |
| 3.2 实验 | 第47-54页 |
| 3.2.1 LC压力传感器的结构设计 | 第47-49页 |
| 3.2.2 LTCC无源无线压力传感器的力学仿真 | 第49-52页 |
| 3.2.3 LTCC无源无线压力传感器的制备 | 第52-53页 |
| 3.2.4 LTCC无源无线压力传感器的测试方法 | 第53-54页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第54-60页 |
| 3.3.1 LTCC无源无线压力传感器的结构表征 | 第54-56页 |
| 3.3.2 LTCC无源无线压力传感器的压力测试 | 第56-59页 |
| 3.3.3 LTCC无源无线压力传感器的温度测试 | 第59-60页 |
| 3.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第4章 LTCC无源无线压力/温度集成传感器研究 | 第61-78页 |
| 4.1 引言 | 第61页 |
| 4.2 实验 | 第61-68页 |
| 4.2.1 LC温度传感器的结构设计 | 第61-63页 |
| 4.2.2 双LC回路的压力/温度集成传感器结构设计 | 第63-66页 |
| 4.2.3 LTCC无源无线压力/温度集成传感器的制备 | 第66-67页 |
| 4.2.4 LTCC无源无线压力/温度传感器的测试方法 | 第67-68页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第68-76页 |
| 4.3.1 LTCC无源无线温度传感器的频率-温度特性 | 第68-71页 |
| 4.3.2 LTCC无源无线压力/温度集成传感器的压力测试 | 第71-75页 |
| 4.3.3 LTCC无源无线压力/温度集成传感器的温度测试 | 第75-76页 |
| 4.4 本章小结 | 第76-78页 |
| 第5章 全文总结和展望 | 第78-81页 |
| 5.1 全文总结 | 第78-79页 |
| 5.2 展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 作者简历 | 第89-90页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第90页 |
