计量型扫描电镜的溯源与应用研究
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第一章 绪论 | 第17-26页 |
| 1.1 论文研究背景和意义 | 第17-21页 |
| 1.1.1 纳米计量技术 | 第17页 |
| 1.1.2 光刻技术 | 第17-19页 |
| 1.1.3 线宽测量方法及其主要仪器 | 第19-21页 |
| 1.2 计量型扫描电子显微镜的研究现状 | 第21-24页 |
| 1.2.1 扫描电镜的优劣势分析 | 第21-22页 |
| 1.2.2 计量型扫描电镜的国内外研究现状 | 第22-24页 |
| 1.3 本文研究的主要内容 | 第24-26页 |
| 第二章 计量型扫描电子显微镜系统结构及其扫描原理 | 第26-32页 |
| 2.1 计量型扫描电子显微镜的基本组成 | 第26页 |
| 2.2 计量型扫描电子显微镜SEM的主体结构部分 | 第26-27页 |
| 2.3 可溯源的干涉仪计量系统 | 第27-29页 |
| 2.3.1 激光干涉系统 | 第27页 |
| 2.3.2 计量型SEM舱门改造 | 第27-29页 |
| 2.4 高精度高速度的纳米位移系统 | 第29页 |
| 2.5 测量控制系统 | 第29-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 计量型扫描电子显微镜控制系统的研究 | 第32-41页 |
| 3.1 扫描电镜双层位移台设计 | 第32-34页 |
| 3.1.1 大范围机械式位移台 | 第32-33页 |
| 3.1.2 纳米压电陶瓷位移工作台 | 第33-34页 |
| 3.2 激光干涉仪计量系统 | 第34-36页 |
| 3.3 测量与控制系统 | 第36-39页 |
| 3.3.1 测量控制系统框架 | 第36-37页 |
| 3.3.2 控制系统的功能模块介绍 | 第37-39页 |
| 3.4 扫描电镜对二维栅格的扫描图像结果 | 第39-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 标准微纳几何结构测量不确定度的分析与评估 | 第41-56页 |
| 4.1 测量不确定度的A类评定和B类评定 | 第41-48页 |
| 4.1.1 测量不确定度的A类评定 | 第41-44页 |
| 4.1.2 不确定度的B类评定 | 第44-45页 |
| 4.1.3 输入量分布情况的估计 | 第45-48页 |
| 4.2 计量型扫描电镜不确定度分析 | 第48-55页 |
| 4.2.1 数学模型 | 第48-49页 |
| 4.2.2 计量型扫描电镜的各个分量不确定度 | 第49-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 扫描电镜在颗粒直径测量方面的应用 | 第56-64页 |
| 5.1 扫描电镜的应用领域 | 第56页 |
| 5.2 基于扫描电镜的二氧化硅颗粒的有效直径测量 | 第56-63页 |
| 5.2.1 颗粒检测意义 | 第56-57页 |
| 5.2.2 二氧化硅颗粒制备与检测 | 第57-58页 |
| 5.2.3 扫描电镜参数选择 | 第58-59页 |
| 5.2.4 数据处理与实验结果 | 第59-63页 |
| 5.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第六章 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第68页 |
