| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 硅基调制机理 | 第11-13页 |
| 1.2.1 电光效应 | 第11-12页 |
| 1.2.2 热光效应 | 第12-13页 |
| 1.2.3 等离子色散效应 | 第13页 |
| 1.3 硅基调制器的光学结构 | 第13-16页 |
| 1.3.1 微环谐振腔结构 | 第13-14页 |
| 1.3.2 马赫曾德尔结构(Mach–Zehnder Interferometer, MZI) | 第14-16页 |
| 1.4 电学结构 | 第16-18页 |
| 1.4.1 MOS电容 | 第16-17页 |
| 1.4.2 正向偏置P- I-N二极管 | 第17页 |
| 1.4.3 反向偏置pn结 | 第17-18页 |
| 1.5 硅基电光调制器的研究现状 | 第18-22页 |
| 1.5.1 高速调制 | 第18-20页 |
| 1.5.2 高阶调制 | 第20-22页 |
| 1.5.3 器件集成 | 第22页 |
| 1.6 论文的独创点 | 第22-23页 |
| 1.7 论文结构 | 第23-24页 |
| 第二章 硅基MZI电光调制器驱动电极 | 第24-41页 |
| 2.1 硅基MZI电光调制器基本原理 | 第24-25页 |
| 2.2 硅基MZI电光调制器驱动电极 | 第25-34页 |
| 2.2.1 直流偏置电源 | 第26-27页 |
| 2.2.2 行波电极 | 第27-30页 |
| 2.2.3 光电互连 | 第30-32页 |
| 2.2.4 匹配电阻 | 第32-34页 |
| 2.3 调制器性能指标 | 第34-40页 |
| 2.3.1 光学指标 | 第34-35页 |
| 2.3.2 电学指标 | 第35-40页 |
| 2.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第三章 调制器行波电极优化设计和测试 | 第41-63页 |
| 3.1 电极设计原则 | 第41-44页 |
| 3.2 行波电极设计与仿真 | 第44-48页 |
| 3.3 行波电极电路模型建立 | 第48-51页 |
| 3.4 行波电极电路模型理论分析 | 第51-53页 |
| 3.5 第一版行波电极实验结果 | 第53-57页 |
| 3.5.1 硅基调制器芯片加工 | 第53页 |
| 3.5.2 行波电极测试系统搭建与测试 | 第53-57页 |
| 3.6 行波电极优化设计 | 第57-61页 |
| 3.7 第二版行波电极实验结果 | 第61-62页 |
| 3.8 本章小结 | 第62-63页 |
| 第四章 调制器实验实现和光电性能测试 | 第63-77页 |
| 4.1 线性直流稳压电源的设计与实现 | 第63-66页 |
| 4.2 引线键合工艺实现 | 第66-67页 |
| 4.3 片上 50Ω 匹配电阻的设计与实现 | 第67-71页 |
| 4.4 调制器光电性能测试 | 第71-76页 |
| 4.4.1 传输谱线测试 | 第71-72页 |
| 4.4.2 光电性能实验系统搭建 | 第72-73页 |
| 4.4.3 实验结果 | 第73-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 附录一 符号与标记 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-88页 |