微尺度群缝振动进给电解加工装置及其工艺规律基础研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 微细电解加工技术 | 第13-17页 |
| 1.1.1 掩模微细电解加工 | 第14页 |
| 1.1.2 微细电解线切割加工 | 第14-15页 |
| 1.1.3 电液束加工 | 第15-16页 |
| 1.1.4 基于扫描探针显微镜的微细电化学加工 | 第16-17页 |
| 1.2 微细电解加工中存在的问题 | 第17-18页 |
| 1.3 改善微细电解加工精度及其稳定性方法 | 第18-22页 |
| 1.3.1 超短脉冲电源 | 第18-20页 |
| 1.3.2 阴极局部绝缘 | 第20-21页 |
| 1.3.3 使用特殊电解液 | 第21页 |
| 1.3.4 改进进给方式 | 第21-22页 |
| 1.4 课题研究意义及主要研究内容 | 第22-25页 |
| 1.4.1 课题研究目的及意义 | 第22-23页 |
| 1.4.2 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 振动进给电解加工过程的分析 | 第25-34页 |
| 2.1 电解加工基本理论 | 第25-26页 |
| 2.2 微尺度群缝电解加工影响因素 | 第26-29页 |
| 2.2.1 加工精度影响分析 | 第26-28页 |
| 2.2.2 加工稳定性影响分析 | 第28-29页 |
| 2.3 振动进给电解加工 | 第29-33页 |
| 2.3.1 振动进给电解加工过程分析 | 第30-31页 |
| 2.3.2 振动进给对电解加工过程的影响 | 第31-32页 |
| 2.3.3 强化产物排除对加工过程的影响 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 电解加工振动进给装置系统研制 | 第34-47页 |
| 3.1 振动进给装置技术要求 | 第34页 |
| 3.2 振动装置实现方案对比分析 | 第34-36页 |
| 3.2.1 机械式振动实现方式 | 第34页 |
| 3.2.2 电磁式振动实现方式 | 第34-35页 |
| 3.2.3 压电陶瓷式振动实现方式 | 第35页 |
| 3.2.4 液压式振动实现方式 | 第35-36页 |
| 3.3 振动装置结构设计 | 第36-43页 |
| 3.3.1 振动装置总体结构方案 | 第36页 |
| 3.3.2 关键零部件选择 | 第36-39页 |
| 3.3.3 振动系统位置伺服数学模型的建立 | 第39-41页 |
| 3.3.4 振动系统结构设计 | 第41-43页 |
| 3.4 振动控制系统及装置调试 | 第43-46页 |
| 3.4.1 控制系统硬件组成 | 第43-44页 |
| 3.4.2 控制系统软件 | 第44页 |
| 3.4.3 振动系统调试 | 第44-46页 |
| 3.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 振动进给精密电解加工设备研制 | 第47-58页 |
| 4.1 设备组成及功能要求 | 第47-49页 |
| 4.1.1 设备的主要组成 | 第47页 |
| 4.1.2 设备功能要求 | 第47-49页 |
| 4.2 机床本体部分设计 | 第49-53页 |
| 4.2.1 机床床身材料的选择 | 第49页 |
| 4.2.2 机械部分总体结构 | 第49-50页 |
| 4.2.3 机床传动部分设计 | 第50-53页 |
| 4.3 脉冲电源选择 | 第53-54页 |
| 4.4 电解液循环过滤系统设计 | 第54-55页 |
| 4.4.1 电解液循环过滤系统的作用 | 第54页 |
| 4.4.2 电解液循环过滤系统总体方案设计 | 第54-55页 |
| 4.5 设备控制系统简介 | 第55-56页 |
| 4.6 振动进给电解加工设备 | 第56-57页 |
| 4.7 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 微尺度群缝振动进给电解加工工艺试验 | 第58-68页 |
| 5.1 微尺度群缝加工工艺分析 | 第58-59页 |
| 5.2 试验方案设计 | 第59-61页 |
| 5.2.1 工具阴极设计 | 第59页 |
| 5.2.2 工装夹具的设计 | 第59-61页 |
| 5.3 振动进给对加工过程稳定性影响 | 第61-63页 |
| 5.3.1 振动参数对加工稳定性的影响 | 第61-62页 |
| 5.3.2 电解液压力对加工稳定性影响 | 第62-63页 |
| 5.4 振动进给对加工精度的影响 | 第63-66页 |
| 5.4.1 振动频率对平均缝宽及侧壁锥度的影响 | 第63-64页 |
| 5.4.2 振动幅值对平均缝宽及侧壁锥度的影响 | 第64-65页 |
| 5.4.3 不同电压对加工精度的影响 | 第65-66页 |
| 5.5 参数的优化 | 第66-67页 |
| 5.6 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 总结展望 | 第68-70页 |
| 6.1 总结 | 第68-69页 |
| 6.2 展望 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第75页 |
