干涉法测量膜厚方法及干涉图处理技术研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
1 绪论	第9-11页
·课题的研究目的及意义	第9页
·本文的主要研究内容	第9-11页
2 主要的薄膜厚度测量方法	第11-14页
·光谱法	第11页
·椭圆偏振法	第11-12页
·干涉法	第12页
·本章小结	第12-14页
3 干涉法测量薄膜厚度的原理及测试过程	第14-22页
·干涉法测量薄膜厚度的原理	第14-15页
·干涉法测量薄膜厚度的测试过程	第15-21页
·干涉仪	第15页
·干涉图图像采集系统	第15-20页
·干涉图处理过程	第20-21页
·本章小结	第21-22页
4. 干涉法测量膜厚的关键技术及算法	第22-52页
·干涉图的预处理	第22-34页
·消除噪声	第22-26页
·边缘提取	第26-32页
·区域延拓	第32-34页
·滤波器的设计与选取	第34-38页
·通用滤波器	第35-37页
·滤波器中心频率的确定	第37-38页
·相位解包	第38-51页
·种子算法	第39-43页
·质量跟踪导向算法	第43-48页
·基于DCT的最小二乘算法	第48-51页
·本章小结	第51-52页
5 实验数据采集及分析	第52-61页
·薄膜样片的制备	第52页
·干涉图的图像采集以及图像处理结果	第52-60页
·迈克尔逊干涉仪的测试处理结果分析	第52-57页
·泰曼格林干涉仪的测试处理结果分析	第57-60页
·本章小结	第60-61页
6 结论	第61-63页
·结论	第61页
·下一步工作展望	第61-63页
参考文献	第63-69页
攻读硕士学位期间发表的论文	第69-70页
致谢	第70-72页