| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第13-35页 |
| 1.1 惯性约束聚变概述 | 第13-14页 |
| 1.2 高功率固体激光装置概述 | 第14-16页 |
| 1.3 高功率固体激光装置面临的紫外激光损伤挑战 | 第16-32页 |
| 1.3.1 熔石英元件表面所面临的紫外激光损伤问题 | 第17-24页 |
| 1.3.2 熔石英材料所面临的紫外激光损伤问题 | 第24-26页 |
| 1.3.3 KDP晶体所面临的紫外激光损伤问题 | 第26-32页 |
| 1.4 论文的研究内容和意义 | 第32页 |
| 1.5 本论文工作 | 第32-35页 |
| 第2章 不同工艺条件下熔石英元件表面缺陷的分类表征 | 第35-57页 |
| 2.1 概述 | 第35-36页 |
| 2.2 熔石英材料表面加工及后处理工艺简介 | 第36-39页 |
| 2.2.1 表面精密机械抛光技术 | 第36-37页 |
| 2.2.2 磁流变抛光技术 | 第37-38页 |
| 2.2.3 表面动态化学刻蚀技术 | 第38-39页 |
| 2.3 样品制备 | 第39-40页 |
| 2.4 不同工艺条件下熔石英表面缺陷的分类表征 | 第40-54页 |
| 2.4.1 亚表面杂质元素成分及含量检测分析 | 第40-47页 |
| 2.4.2 亚表面荧光缺陷的表征分析 | 第47-50页 |
| 2.4.3 亚表面光热吸收性缺陷的表征分析 | 第50-52页 |
| 2.4.4 结构性缺陷的测试分析 | 第52-54页 |
| 2.5 本章小结 | 第54-57页 |
| 第3章 熔石英表面吸收性缺陷与激光诱导损伤的相关性研究 | 第57-73页 |
| 3.1 引言 | 第57-58页 |
| 3.2 不同表面工艺熔石英样品的抗激光损伤性能测试 | 第58-63页 |
| 3.2.1 光学元件抗激光损伤性能测试方法简介 | 第58-59页 |
| 3.2.2 不同表面工艺熔石英样品的抗激光损伤性能测试结果 | 第59-63页 |
| 3.3 样品表面吸收性缺陷分布水平的定量表征 | 第63-65页 |
| 3.3.1 激光诱导荧光缺陷的定量表征结果 | 第63-64页 |
| 3.3.2 光热弱吸收缺陷的定量表征结果 | 第64-65页 |
| 3.4 吸收性缺陷与抗激光损伤之间的定量相关性分析 | 第65-72页 |
| 3.4.1 吸收性缺陷与熔石英表面零概率损伤阈值之间的关联关系 | 第67-68页 |
| 3.4.2 吸收性缺陷与熔石英表面损伤密度之间的关联关系 | 第68-72页 |
| 3.5 结论 | 第72-73页 |
| 第4章 熔石英材料的缺陷诱导损伤行为机制研究 | 第73-87页 |
| 4.1 概述 | 第73页 |
| 4.2 样品概况及激光诱导体损伤阈值测试 | 第73-78页 |
| 4.3 熔石英材料缺陷的表征与分析 | 第78-82页 |
| 4.3.1 体内气泡分布 | 第78-79页 |
| 4.3.2 体内羟基含量 | 第79-80页 |
| 4.3.3 体内金属杂质含量 | 第80-81页 |
| 4.3.4 材料的紫外激光(355 nm)弱吸收 | 第81-82页 |
| 4.4 分析与讨论 | 第82-85页 |
| 4.5 本章小结 | 第85-87页 |
| 第5章 KDP晶体的缺陷诱导损伤行为机制研究 | 第87-115页 |
| 5.1 概述 | 第87页 |
| 5.2 KDP晶体的激光诱导损伤行为 | 第87-96页 |
| 5.2.1 KDP晶体样品准备 | 第87-88页 |
| 5.2.2 KDP晶体激光诱导损伤行为的基本测试条件 | 第88页 |
| 5.2.3 紫外脉冲激光作用下KDP晶体的初始损伤特性 | 第88-94页 |
| 5.2.4 紫外脉冲激光作用下KDP晶体的损伤增长特性 | 第94-96页 |
| 5.3 不同生长工艺及热退火条件下KDP晶体的缺陷诱导损伤机制 | 第96-107页 |
| 5.3.1 研究所需的KDP晶体样品准备 | 第96-97页 |
| 5.3.2 激光损伤阈值测试结果 | 第97-99页 |
| 5.3.3 KDP晶体样品的缺陷及材料物化特性表征 | 第99-107页 |
| 5.4 激光预处理对KDP晶体损伤特性的影响 | 第107-114页 |
| 5.4.1 研究所需的KDP晶体样品准备 | 第107-108页 |
| 5.4.2 五块预处理样品的抗激光损伤性能测试 | 第108-109页 |
| 5.4.3 激光预处理对KDP晶体空位缺陷的影响 | 第109-111页 |
| 5.4.4 激光预处理对KDP晶体紫外弱吸收特性的影响 | 第111-114页 |
| 5.5 本章小结 | 第114-115页 |
| 第6章 总结与展望 | 第115-119页 |
| 6.1 全文总结 | 第115-117页 |
| 6.2 创新点 | 第117页 |
| 6.3 展望 | 第117-119页 |
| 参考文献 | 第119-129页 |
| 致谢 | 第129-131页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第131页 |
