真空退火炉炉内温控结构设计及热场仿真
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 真空退火炉研究背景和意义 | 第7-9页 |
| 1.2 真空退火炉发展和现状 | 第9-11页 |
| 1.2.1 国外真空退火炉发展及应用现状 | 第9-10页 |
| 1.2.2 国内真空退火炉发展及应用现状 | 第10-11页 |
| 1.3 论文所做工作 | 第11-13页 |
| 第二章 真空退火炉主体结构设计 | 第13-25页 |
| 2.1 真空退火炉工作原理 | 第13页 |
| 2.2 真空退火炉主要技术指标 | 第13-14页 |
| 2.3 真空退火炉结构设计 | 第14-22页 |
| 2.3.1 炉体 | 第14-17页 |
| 2.3.2 真空系统 | 第17-19页 |
| 2.3.3 强冷系统 | 第19-20页 |
| 2.3.4 水冷系统 | 第20页 |
| 2.3.5 电控部分 | 第20-22页 |
| 2.3.6 炉胆 | 第22页 |
| 2.4 本章小结 | 第22-25页 |
| 第三章 温控结构介绍、关键技术及创新点 | 第25-45页 |
| 3.1 温控结构的基本组成 | 第25-30页 |
| 3.1.1 控温热电偶 | 第25-28页 |
| 3.1.2 水冷电极 | 第28-30页 |
| 3.1.3 加热元件 | 第30页 |
| 3.1.4 保温层 | 第30页 |
| 3.2 温控结构关键技术及解决措施 | 第30-43页 |
| 3.2.1 加热功率的确定 | 第30-34页 |
| 3.2.2 加热元件的选取和空间布置 | 第34-40页 |
| 3.2.3 保温材料的选取和空间布置 | 第40-43页 |
| 3.3 温控结构设计的技术创新点 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 真空退火炉炉内热场仿真 | 第45-59页 |
| 4.1 真空退火炉三维设计 | 第45-50页 |
| 4.1.1 三维 CAD 技术概述 | 第45页 |
| 4.1.2 三维 CAD 技术优点 | 第45-47页 |
| 4.1.3 solid works 软件简介 | 第47页 |
| 4.1.4 真空退火炉的三维设计 | 第47-50页 |
| 4.2 有限元分析 | 第50-57页 |
| 4.2.1 有限元分析概述 | 第50-53页 |
| 4.2.2 真空退火炉炉内热场有限元分析 | 第53-57页 |
| 4.3 产品工艺实验 | 第57-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 在读期间研究成果 | 第65-66页 |
