| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第6-18页 |
| 1.1 ICP基本原理 | 第8页 |
| 1.2 ICP研究进展 | 第8-16页 |
| 1.3 本论文主要工作 | 第16-17页 |
| 1.4 本论文的创新点 | 第17-18页 |
| 第二章 磁芯内置式ICP光源模型的建立与研究 | 第18-31页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 光谱诊断实验 | 第18-19页 |
| 2.3 模型的建立 | 第19-23页 |
| 2.4 结果与分析 | 第23-30页 |
| 2.4.1 基本参数分析 | 第24-25页 |
| 2.4.2 氩气压强和频率对放电的影响 | 第25-30页 |
| 2.5 本章小节 | 第30-31页 |
| 第三章 磁芯外置式ICP光源模型的建立和研究 | 第31-47页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 实验 | 第31-36页 |
| 3.3 模型的建立 | 第36-38页 |
| 3.4 模拟与实验结果对比 | 第38-39页 |
| 3.5 模拟结果分析 | 第39-44页 |
| 3.6 磁芯内置式ICP光源和磁芯外置式ICP光源的比较 | 第44-45页 |
| 3.7 本章小节 | 第45-47页 |
| 第四章 线圈绕制式ICP光源特性的研究 | 第47-60页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 实验 | 第47-52页 |
| 4.2.1 灯管发热现象研究 | 第47-50页 |
| 4.2.2 光谱测量 | 第50-52页 |
| 4.3 线圈绕制式ICP光源二维自洽模型 | 第52-59页 |
| 4.3.1 模拟结果和实验结果对比 | 第53页 |
| 4.3.2 频率对放电参数的影响 | 第53-56页 |
| 4.3.3 气体温度对放电参数的影响 | 第56-59页 |
| 4.4 本章小节 | 第59-60页 |
| 第五章 全文总结 | 第60-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 发表论文 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |